株式会社クリエイティブコーティングス バッチ式高精度全自動外部電極塗布装置 BX series
- 最終更新日：2020-02-26 16:28:36.0
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世界最小チップ対応！フレキシブルラインのご提案
バッチ式を採用し膜厚を薄く均一に制御する高精度塗を実現。振込部、塗布部、乾燥炉を省スペース化。
基本情報バッチ式高精度全自動外部電極塗布装置 BX series
【製品特徴】
省スペース
振込部・塗布部・乾燥炉の省スペース化を実現
キャリア
180mm×280mmサイズ
50mm×150mmサイズ 他
ホールド保持・テープ保持・CC粘着保持タイプに対応
振込
揺動傾斜方式ではなく、チップにダメージを与えない独自の振込方式を採用
塗布
塗布部平行度±5μm
10μm厚ウェットブロット
XYスライドブロットで膜厚を薄く均一にコントロール
| 価格帯 | お問い合わせください |
|---|---|
| 納期 | お問い合わせください |
| 用途／実績例 | ※詳しくはお気軽にお問い合わせ下さい。 |
カタログバッチ式高精度全自動外部電極塗布装置 BX series
取扱企業バッチ式高精度全自動外部電極塗布装置 BX series
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液相、気相コーティング技術によるプロセス開発・受託成膜・ロボット開発製造販売
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