真空チャンバー内壁からのガス放出を大幅低減！新しい「真空構造材」東京電子

0.2％BeCu合金製で低ガス放出化を実現！ステンレススチールの代替えに。

『魔法のニップル／キューブ／チャンバー』は素材にBeCu合金を使用することで従来の真空系を構成するステンレススチールに代わり、内壁からのガス放出を大幅に低減する新たな真空構造材です。

BeCu合金は、輻射率が低く、熱伝導率に優れるため、わずかに吸収した熱も速やかに拡散し、温度上昇を抑えることでガス放出スピードを1/10以下に低減することが出来ます。

【特長】
■到達真空を改善
■銅表面はNiP不動態化
■300℃までのベーキングに対応可能
■銅ガスケットを使用可能

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当社では、この他にも「極高真空計 3B-Gauge」「超低ガス放出残留ガス分析計 WATMASS」など
極高真空製品を多数取り扱っています。

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取扱企業真空チャンバー内壁からのガス放出を大幅低減！新しい「真空構造材」

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