R&Dや少量生産に最適！手動レジスト塗布装置(スピンコーター) エイ・エス・エイ・ピイ

研究・開発、小ロット対応のマニュアル装置！卓上タイプとは違う自動機と同等のレジスト塗布機構を搭載！

当製品は、スピンコーティング、HMDS処理、ベーク、クーリング機能を搭載。

設計から製造・販売まで自社で行っているので、装置の低価格を実現しました♪

自動機を買うには手が届かないというお客様や小ロットのため自動機まではいらないというお客様のために最適な手動機（マニュアル）装置です。

卓上タイプとは違い、自動機と同等のレジスト塗布が可能なので、自動機へ移行した際もプロセスの条件出しが必要なく、同じレシピが使用できます！

ポジ・ネガレジスト、ポリイミド、SOG、WAX、シリコーンなど、多彩な薬液に実績があります。

Si（シリコン）、GaAs、InP、GaN、SiC、サファイア、セラミック、SiO2（ガラス）など多数の基板搬送実績もあります！

【特長】
■手動レジスト塗布機（マニュアル）で低価格を実現
■2～12インチまで対応可能
■低～高粘度（1.7cP～10000cP）まで対応可能
■多彩な薬液に実績あり
■フットプリントの低減（省スペース化）
■レジスト削減で多数のオプション

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

基本情報R&Dや少量生産に最適！手動レジスト塗布装置(スピンコーター)

【主な仕様】
■スピン塗布ユニット：1組
■ウエハサイズ：Φ2"～Φ12"
■レジスト滴下ノズル：2組
■ベークユニット：2組（Max200℃）
■クーリングユニット：1組
■装置サイズ：（例）1200×1000×1800(Φ4"本体)
　　　　　　　　　 1600×2500×1800(Φ12"本体)

その他オプション多数！

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

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納期	お問い合わせください ※3～4ヶ月（通常）、状況によって変動しますので、お気軽にお問い合わせください。
用途／実績例	※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。