MAX400℃！高温ベーク対応レジスト塗布装置（スピンコーター）エイ・エス・エイ・ピイ

BARCやその他薬液をスピン塗布後、MAX400℃でベーク可能！高温ベーク搭載自動レジスト塗布装置

当製品は、スピンコーティング、HMDS処理、高温ベーク（MAX400℃）、低温ベーク（MAX200℃）、クーリング機能を搭載。

低温ベークと高温ベークの組み合わせでステップベークも可能です。

レジスト以外での薬品でもスピン塗布後に高温ベーク可能！

その他、ポジレジスト・ネガレジスト、ポリイミド（PI）、シリコーン、SOG、WAXなどなど多数の薬液に実績ございます！

シリコン（Si）、サファイア、セラミック、LT、GaAs、InP、GaN、SiC、SiO2（ガラス）など多数の基板搬送実績もあります。

GaAs（厚み150um）、IｎP（厚み150um）、LT（厚み120um）など薄い基板もご安心ください！

【特長・強み】
■お手頃価格を実現
■ウェハサイズ自動検知機能
■自動ウェハ検知機能（マッピング）搭載
■2～12インチまで対応可能
■低～高粘度（1.7cP～10000cP）まで対応可能
■多彩な薬液に実績あり
■フットプリントの低減（省スペース化）
■レジスト削減で多数のオプション

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

基本情報MAX400℃！高温ベーク対応レジスト塗布装置（スピンコーター）

【主な仕様】
■カセットステージ：2組
■スピン塗布ユニット：1組
■ウエハサイズ：Φ2"～Φ12"
■レジスト滴下ノズル：2組/CUP
■バック・エッジリンス：各1組/CUP
■高温ベークユニット：1組（Max400℃）
■低温ベークユニット：2組（Max200℃）
■クーリングユニット：1組
■センタリングユニット：1組
■装置サイズ：（例）1200×1000×1800(Φ4"本体)
　　　　　　　　　 1600×2500×1800(Φ12"本体)
■ウェハ搬送ロボット：1組（ダブルアームクリーンロボット）

その他オプション多数！

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

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納期	お問い合わせください ※4～6ヶ月（通常）、状況によって変動しますので、お気軽にお問い合わせください。
用途／実績例	※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。