厚さ100um！極薄ウェーハ搬送自動レジスト塗布装置　コーターエイ・エス・エイ・ピイ

GaAs、LT、ガラスなどの脆くて薄いウェーハでの搬送・塗布での実績（ノウハウ）が多数あります！

薄いウェーハで気になるのは搬送での割れ、塗布後の面内均一性です。

ウェーハ搬送装置（ウェーハソーター）の作製実績など、薄くて割れやすい（脆い）ウェーハの搬送に自信があります。

GaAs、LT（タンタル酸リチウム）、ガラス（石英）、GaN、サファイア、Si、セラミックなど多数の基板に対応可能です。

また、薄いウェーハでは塗布時の面内均一性がバラつきやすいですが、チャックなどを工夫することでかなり改善できます。

当製品は、スピンコーティング、HMDS処理、ベーク、クーリング機能を標準で搭載。

お客様のご要望や生産量に応じて、ユニット数の調整やマニュアル機～フルオート機までご提案できます。

設計から製造・販売まで自社で行っているので、低価格を実現しました。

【特長】
■薄ウェーハ対応ロボット
■薄ウェーハ対応チャック
■低価格を実現
■ウェーハサイズを自動認識
■多彩な薬液に実績あり
■フットプリントの低減
■省レジストで多数のオプション
■生産量に合わせたラインアップ

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

基本情報厚さ100um！極薄ウェーハ搬送自動レジスト塗布装置　コーター

【主な仕様】
■カセットステージ：2組
■スピン塗布ユニット：2組
■ウエハサイズ：Φ2"～Φ12"
■レジスト滴下ノズル：2組
■ベークユニット：2組（Max200℃）
■クーリングユニット：1組
■センタリングユニット：1組
■装置サイズ：（例）1200×1000×1800(Φ4"本体)
　　　　　　　　　 1600×2500×1800(Φ12"本体)
■ウェハ搬送ロボット：1組（ダブルアームクリーンロボット）

その他オプション多数！

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

価格帯	お問い合わせください
納期	お問い合わせください ※4～5ヶ月（通常）、状況によって変動しますので、お気軽にお問い合わせください。
用途／実績例	GaAs、LT（タンタル酸リチウム）、ガラス（石英）、GaN、サファイア、Si、セラミックなど多数の基板に対応可能です。 ※詳しくはお気軽にお問い合わせ下さい。