段取り替えなし！複数ウエハサイズ兼用自動レジスト塗布装置コーターエイ・エス・エイ・ピイ

現状のウエハサイズと将来的に使用したいウエハサイズを兼用した装置を作製できます（例、2・4インチ、6・8インチなど）

2種類以上のウエハサイズを兼用した装置製作が「段取り替えなし」で可能です。

実績例
■2・3・4インチ兼用装置
■4・5インチ兼用装置
■4・6インチ兼用装置
■6・8インチ兼用装置
■8・12インチ兼用装置

ウエハ重量、ウエハ材質によっても変わりますので、
まずはお気軽にご相談ください。

2種類のウエハサイズの専用装置を1台ずつ設置することを考えれば、設置面積は実質半分になります！

もちろんスピンコーティング、HMDS処理、ベーク、クーリング機能を標準搭載しています。

マニュアル機～フルオート機まで生産量に合わせたラインアップで、
設計から製造・販売まで自社で行っているので、低価格を実現しました。

【特長】
■複数インチサイズウエハの兼用（段取り替えなし）
■自動ウエハサイズ認識での自動運転
■低価格を実現
■多彩な薬液に実績あり
■フットプリントの低減
■レジスト削減で多数のオプション
■生産量に合わせたラインアップ

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

基本情報段取り替えなし！複数ウエハサイズ兼用自動レジスト塗布装置コーター

【主な仕様】
■カセットステージ：2組
■スピン塗布ユニット：2組
■ウエハサイズ：Φ2"～Φ12"
■レジスト滴下ノズル：2組
■ベークユニット：2組（Max200℃）
■クーリングユニット：1組
■センタリングユニット：1組
■装置サイズ：（例）1200×1000×1800(Φ4"本体)
　　　　　　　　　 1600×2500×1800(Φ12"本体)
■ウェハ搬送ロボット：1組（ダブルアームクリーンロボット）

その他オプション多数！

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

価格帯	お問い合わせください
納期	お問い合わせください ※4～5ヶ月（通常）、状況によって変動しますので、お気軽にお問い合わせください。
用途／実績例	パワーデバイス、LED、LD、SAWフィルターなど各種分野での実績があります。 ※詳しくはお気軽にお問い合わせ下さい。