株式会社エイ・エス・エイ・ピイ 自動レジスト現像装置(枚葉式) デベロッパー Developer
- 最終更新日:2023-04-04 17:24:46.0
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枚葉式のためプロセスの再現性が高く、薬液使用量も少なく済みます。品質向上・プロセス安定ニーズにお応えするレジスト現像装置です!
枚葉式フォトレジスト現像装置です。
パドル現像、スプレー現像(1流体、2流体)など様々な現像プロセスに対応できます。
薄型ウェハや角基板など多数実績がございます!
また、厚膜レジスト現像~微細なパターンの現像まで幅広く対応できます。
当製品は、枚葉式で現像、ベーク、クーリング機能を搭載(オプション:全面露光ユニット)
マニュアル機~フルオート機まで生産量に合わせたラインアップで、
設計から製造・販売まで自社で行っているので、低価格を実現しました。
TMAH(水酸化テトラメチルアンモニウム)、炭酸ナトリウム、コリン水溶液など多彩な薬液に実績があります。
【特長】
■安定した現像プロセス!
■低価格
■自動サイズウエハ認識
■多彩な薬液に実績あり
■仕様に合わせたコンパクト設計!
■生産量に合わせた装置ラインアップ
デモ設備は常設しておりますので、デモのご検討をお願いいたします。
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基本情報自動レジスト現像装置(枚葉式) デベロッパー Developer
【主な仕様】
■カセットステージ:2組
■スピン現像ユニット:2組
■ウエハサイズ:Φ2"~Φ12"
■現像ノズル:1組/CUP
■リンスノズル:1組/CUP
■ベークユニット:4組(Max200℃)
■クーリングユニット:2組
■センタリングユニット:1組
■装置サイズ:(例)1400×1100×1800(Φ4"本体)
400×900×1800(薬液供給+電源BOX)
■ウェハ搬送ロボット:1組(ダブルアームクリーンロボット)
その他オプション多数!
※詳しくはお気軽にお問い合わせ下さい。
価格帯 | お問い合わせください |
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納期 |
お問い合わせください
※4~5ヶ月(通常)、状況によって変動しますので、お気軽にお問い合わせください。 |
用途/実績例 | パワーデバイス、SAWフィルター、LED、LD等の分野に多数の実績がございます。 |
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