逆テーパー角を一定に！PEB対応レジスト現像装置（デベロッパー）エイ・エス・エイ・ピイ

逆テーパー角度を一定に！ネガレジストやイメージリバーサル用のレジストに必要な露光後ベーク（PEB）対応自動レジスト現像装置です。

枚葉式で現像、全面露光（反転露光、イメージリバーサル）、ベーク、クーリング機能を搭載。

リフトオフ用レジストで逆テーパーの角度を決める重要なPEB。
当社独自プログラムで逆テーパー角度を安定させます！

また、ネガレジストの露光後ベークに使用することで安定プロセスが得られます。

マニュアル機～フルオート機まで生産量に合わせたラインアップで、
設計から製造・販売まで自社で行っているので、低価格を実現しました。

TMAH、コリン水溶液、Na2CO3等多彩な薬液に実績があります。

また、薄いウエハでの実績も多数あります（ウエハ厚さ150umなど）のでご相談ください。

【特長】
■PEBによる逆テーパー角の安定
■自動ウエハサイズ認識機能
■パドル、1流体スプレー、2流体スプレーの対応可
■フットプリントの低減
■生産量に合わせたラインアップ

デモ設備も常設しておりますので、デモのご検討をお願いいたします！

基本情報逆テーパー角を一定に！PEB対応レジスト現像装置（デベロッパー）

【主な仕様】
■カセットステージ：2組
■スピン現像ユニット：2組
■ウエハサイズ：Φ2"～Φ12"
■現像ノズル：1組/CUP
■リンスノズル：1組/CUP
■ベークユニット：2組（Max200℃）
■クーリングユニット：1組
■センタリングユニット：1組
■装置サイズ：（例）1200×1000×1800(Φ4"本体)
　　　　　　　　　 1600×2500×1800(Φ12"本体)
■ウェハ搬送ロボット：1組（ダブルアームクリーンロボット）

その他オプション多数！

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

価格帯	お問い合わせください
納期	お問い合わせください ※4～5ヶ月（通常）、状況によって変動しますので、お気軽にお問い合わせください。
型番・ブランド名	RDA
用途／実績例	LED、LD、SAWフィルター、パワーデバイス等の分野で実績があります。