反りウェハも搬送！ベルト搬送式自動レジスト塗布装置（コーター）エイ・エス・エイ・ピイ

ベルト搬送タイプのトラックシステムスピンコーターです。高スループットでありながら、どんな反りウェハでも搬送可能です！

【特長】
■ベルト搬送で高スループット（処理能力が高い）
■反りウェハの搬送も可能！
■低価格を実現
■自動ウェハサイズ認識システム
■多彩な薬液に実績あり
■フットプリントの低減
■省レジストで多数のオプション
■生産量に合わせたラインアップ

ロボットを使わず、高スループットを実現！ベルト搬送でのスピンコーターです。

トラックシステム（ベルト搬送）のため反りウェハの搬送も問題なく行えます。

ロボットは搬送フローの自由度が高いですが、塗布・ベークと決まった搬送フローであれば、並列の搬送システムを使用することで大量処理が可能です（量産向け）

当製品は、スピンコーティング、HMDS処理、ベーク、クーリング機能を搭載。

フルオート機でも生産量に合わせたラインアップをご用意しております。
設計から製造・販売まで自社で行っているので、低価格を実現しました。

ポリイミド、SOG、WAX、シリコーンなど、多彩な薬液に実績があります。

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

基本情報反りウェハも搬送！ベルト搬送式自動レジスト塗布装置（コーター）

【主な仕様】
■カセットステージ：2組
■スピン塗布ユニット：2組
■ウエハサイズ：Φ2"～Φ12"
■レジスト滴下ノズル：1組/CUP
■ベークユニット：2組（Max200℃）
■クーリングユニット：2組
■センタリングユニット：2組
■装置サイズ：（例）1800×1000×1400(Φ4"本体)
　　　　　　　　　
その他オプション多数！

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

価格情報	ご希望の仕様により提示させていただきます。
納期	お問い合わせください ※4～5ヶ月（通常）、状況によって変動しますので、お気軽にお問い合わせください。
用途／実績例	※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。