自動化量産ラインに対応。インラインタイプ、枚葉タイプ、柔軟なハード構成の実績豊富な各タイプ 眞空プラズマの高い効果を量産ラインに
先端薄膜デバイスで実績豊富なチャンバ構成をクリーニング用途に展開。
高いクリーニング効果を各種基板で実現。
基板と生産量に合わせて柔軟なハード構成と高いプロセス能力
クリーニング・ディスカム・アッシング・親水処理、撥水膜処理、各種用途に対応。
基板実装から素材表面処理まで実績豊富な大型プラズマ装置
基本情報量産用プラズマクリーニング装置（大型プラズマクリーナー）
平行平板型高周波真空プラズマによる各種基板のクリーニング・親水化に実績
プリント基板、パワーデバイスモジュール、リードフレーム、樹脂フィルム、フレキシブル実装基板の量産ラインに対応
搬送機構・クリーニング前後機構をを独自設計、プリント基板・ヒートシンク等のインライン搬送・フレキシブルプリント基板の枚葉搬送など基板や生産量最適に合わせ最適なハード構成を実現。スループット＆高い歩留まりを実現。
| 価格情報 | お問合せ下さい。 |
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| 用途／実績例 | 基板実装、半田付、リフロー前のクリーニング パワーデバイスモジュール実装前のクリーニング フレキシブルプリント基板のクリーニング、親水化 樹脂フィルム、樹脂基板のクリーニング・親水化 樹脂基成形品の親水化・表面処理 |
ラインナップ
| 型番 | 概要 |
|---|---|
| プラズマクリーニング装置「ＰＯＥＭ」 | 実績豊富な標準型プラズマクリーニング装置 基板実装、リフロー前のクリーニングに最適 |
カタログ量産用プラズマクリーニング装置（大型プラズマクリーナー）
取扱企業量産用プラズマクリーニング装置（大型プラズマクリーナー）
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●装置事業部 （成膜装置） ・スパッタリング装置 ・真空蒸着装置 ・硬質膜形成装置 ・プラズマCVD装置 （プラズマ装置） ・エッチング装置 ・アッシング装置 ・クリーニング装置 （熱処理装置） ・真空リフロー装置 ・プラズマリフロー装置 ・真空熱処理装置 ・アニール装置 ●規格品事業部 ・ドライポンプ ・油回転真空ポンプ ・水封式真空ポンプ ・メカニカルブースタ ・真空排気装置 ・真空計、真空弁、真空部品 ・精密投影機 ・特殊光学機器
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