大型真空オーブン神港精機 | イプロスものづくり

　高真空でも大気圧でも均一加熱、安定加熱　乾燥・脱ガス・ベーキング・アニール　多用途対応の量産型真空オーブン

8００ｍｍ□×8００ｍｍＨ／バッチの大量処理が可能な多用途対応の真空オーブン。
高真空処理・真空置換後の不活性大気圧処理、低真空ガスフロー処理、複数の処理モードを１台で実現。
高真空中の均一加熱で脱ガス・ベーキング。
低真空・ガスフロー雰囲気で脱泡・脱脂・真空乾燥。
真空置換後の不活性雰囲気で部品・成形品　高速加熱アニール
実績豊富な標準タイプから各種カスタマイズで個別対応
目的に合わせて小型からラインナップ。

特設サイト

基本情報大型真空オーブン

６００ｍｍ□×６００ｍｍＨ／バッチの大量バッチ処理
炉内全面ヒーターの均一加熱
ドライポンプ＋ターボ分子ポンプの完全ドライ排気系
高真空・低真空・大気圧の各圧力下での加熱処理対応
基板と目的に合わせて排気系・ガス系・処理温度・炉内構造・治具選択可能

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納期	お問い合わせください
用途／実績例	粉体の乾燥・アニール小型部品の脱ガス・アニール電子デバイス塗布材乾燥・焼成樹脂成型品の塗装後の乾燥・アニールセラミックスシート乾燥

ラインナップ

型番	概要
ポリイミドキュア装置	３００ｍｍ半導体ウェハのポリイミドのキュアに対応した、電子デバイス専用のキュア装置。真空置換後の低酸素濃度下にて均一加熱。先端半導体生産ラインで実績豊富な性能と信頼性。

カタログ大型真空オーブン

取扱企業大型真空オーブン

神港精機株式会社東京支店

●装置事業部（成膜装置）・スパッタリング装置・真空蒸着装置・硬質膜形成装置・プラズマCVD装置（プラズマ装置）・エッチング装置・アッシング装置・クリーニング装置（熱処理装置）・真空リフロー装置・プラズマリフロー装置・真空熱処理装置・アニール装置 ●規格品事業部・ドライポンプ・油回転真空ポンプ・水封式真空ポンプ・メカニカルブースタ・真空排気装置・真空計、真空弁、真空部品・精密投影機・特殊光学機器