高出力ECRプラズマ源『EPS-120』ノベリオンシステムズ

微細加工装置に適用可能！ECR放電型の高出力プラズマ源をご紹介します

『EPS-120』は、微細加工装置に適用できるECR(電子サイクロトロン共鳴)
放電型の高出力プラズマ源です。

複数配置により大面積プラズマを実現するモジュールコンセプト。

ドライエッチング装置やアッシング装置のソースパワーをはじめ、
反応性イオンビーム加工装置(RIBE)のイオン源などに応用できます。

【特長】
■独創的な磁石構成による大容積ECR磁場
■強力な冷却システムによるkW級大電力動作
■メタルコンタミフリーの誘電体ライニング
■複数配置により大面積プラズマを実現するモジュールコンセプト

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

関連リンク - https://www.novelion-sys.com/2016/11/11/eps_120/

基本情報高出力ECRプラズマ源『EPS-120』

【装置仕様】
■接続真空ポート口径：φ120mm
■接続導波管規格：WR340
■適合マイクロ波周波数：2.45GHz
■許容マイクロ波電力：最大2,000W
■冷却方式：水冷

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

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用途／実績例	【応用例】 ■ドライエッチング装置やアッシング装置のソースパワー ■反応性イオンビーム加工装置(RIBE)のイオン源 ■イオン窒化・酸化装置やDLC成膜装置のプラズマソース ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

取扱企業高出力ECRプラズマ源『EPS-120』

ノベリオンシステムズ株式会社

■プラズマ応用装置の開発と製造販売　・ECRラインビームイオン源（ELBSシリーズ）　・モジュール型ECRプラズマ源（EPSシリーズ）　・ミリング用低エネルギー大電流イオン源　・内径スパッタコーティング装置　・各種プラズマ応用装置の開発受託と技術コンサルティング　他 ■特殊成膜プロセスの加工受託　・CFCダイバータブロック（核融合実験炉の炉壁）への接合界面処理　他