SiCトレーを採用!搬送システムで、大量生産を可能にするとともにコストを抑えた装置
『A6300S』は、毎時120枚のスループットを擁する小口径ウェハ対応
大量生産用連続式常圧CVD装置です。
自動トレー交換装置、ヘッド昇降機構を備え、メンテナンス時間を短縮し
生産可能時間を延伸するとともに、お客様の大量生産のニーズとオペレータの
安全にも配慮しました。
【特長】
■高い生産性:毎時120枚の処理が可能
■重金属汚染対策:ウェハ裏面からの金属汚染を防止
■高性能:A63型ヘッドを採用し、良好な膜厚分布を実現
■メンテナンス性の向上:短時間で安全にメンテナンスが可能
■フットプリント:トレー枚数を最小化し装置面積の小型化に成功
■安全性:インターロック、装置機構の好適化により高い安全性を確保
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
基本情報大量生産用連続式常圧CVD装置『A6300S』
【仕様(一部)】
■サイズ:W1500mm×D2850mm×H2000mm
■成膜速度:最大350nm/min
■温度:450℃まで
■ウェハサイズ:6inch以下
■スループット:毎時120枚
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価格帯 | お問い合わせください |
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納期 | お問い合わせください |
用途/実績例 | ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。 |
カタログ大量生産用連続式常圧CVD装置『A6300S』
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