赤外線反射防止膜用ＤＬＣコーティング装置神港精機

高い赤外線透過率をもつＤＬＣ膜をハイレートで基板両面に形成。安定のハードと先進のソフトで次世代のＩＲコーティングを実現

硬質膜・表面処理用途で実績豊富なＰＩＧ式ＤＬＣ膜形成装置を赤外線光学用途に展開。９０％以上の高い透過率を持つＤＬＣ膜を基板両面に一括形成
硬質・高い透過率のＤＬＣ膜を高い生産性で実現。

特設サイト

基本情報赤外線反射防止膜用ＤＬＣコーティング装置

独自開発高密度プラズマ源（ＰＩＧプラズマ源）を装備
自公転機構によるハイレート全面成膜機構
各種赤外線光学素子の対応した充実のソフトウェア

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納期	お問い合わせください ※お問合せ下さい。
型番・ブランド名	AAPIG-16110D型
用途／実績例	赤外センサモジュールカバーガラス

ラインナップ

型番	概要
ＡＰＩＧ－１０６０Ｄ型	独自開発の高密度プラズマガン型プラズマＣＶＤ装置により赤外線の透過率に優れたＤＬＣ膜を高い生産性で成膜。赤外線反射防止膜の少量生産から研究開発に対応。スパッタカソードもオプションで装備可能で多目的用途対応の高密度プラズマＣＶＤ装置

カタログ赤外線反射防止膜用ＤＬＣコーティング装置

取扱企業赤外線反射防止膜用ＤＬＣコーティング装置

神港精機株式会社東京支店

●装置事業部（成膜装置）・スパッタリング装置・真空蒸着装置・硬質膜形成装置・プラズマCVD装置（プラズマ装置）・エッチング装置・アッシング装置・クリーニング装置（熱処理装置）・真空リフロー装置・プラズマリフロー装置・真空熱処理装置・アニール装置 ●規格品事業部・ドライポンプ・油回転真空ポンプ・水封式真空ポンプ・メカニカルブースタ・真空排気装置・真空計、真空弁、真空部品・精密投影機・特殊光学機器