プラズマ装置プラズマクリーナープラズマ洗浄装置カタログヤマトマテリアル

ドライ洗浄のプラズマ技術で環境を守り、半導体デバイスの生産性を大幅に向上させます。

当カタログは、ヤマトマテリアルが取り扱うプラズマ装置を掲載したカタログです。

デモ機や、プラズマ装置のラインアップの他、「RIE プラズマ処理のしくみ」や、
「DP プラズマ処置のしくみ」などもご紹介しています。

当社では、プラズマドライクリーナー、エッチャー（エッチング）、アッシャー（アッシング）の処理目的に合った
プラズマ装置を、標準品以外にもカスタムメイドで対応。

企画から提案まで一環してお引き受けしています。

【掲載内容】
■市場・用途
■プラズマモードの説明
■デモ機ラインアップ
■プラズマ装置ラインアップ

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

関連リンク - https://www.yamato-material.co.jp/electronics/plas…

基本情報プラズマ装置プラズマクリーナープラズマ洗浄装置カタログ

【掲載製品(抜粋)】
プラズマ装置　プラズマドライクリーナー　プラズマ洗浄装置　　プラズマクリーナー　　プラズマ自動機　　プラズマエッチャー　　プラズマアッシャー
■PIPI
■PDC210
■PDC510
■PDC610
■YSP600U/YSP2KU
■YSP63FA
■YSP68W/YSP68WL
■YSP650W

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納期	お問い合わせください
用途／実績例	【用途(抜粋)】プラズマドライクリーナー　プラズマ洗浄装置　　プラズマクリーナー　プラズマエッチャー　プラズマアッシャー　濡れ性向上 ■半導体関連・フォトレジスト密着性の向上、レジスト除去 ■IC/LED組立関連・ワイヤーボンディング接合強度向上、ダイアタッチ前洗浄 ■光学関連・レンズ接着・コーティング前処理 ■バイオ・医用関連・マイクロチップ強度向上、マイクロチップ流路親水性向上 ■マテリアル・高分子材料張り合わせ強度向上、高分子材料のコーティング前処理 ■FPD関連・液晶パネル張り合わせ強度向上、保護・偏向フィルム密着性向上 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

カタログプラズマ装置プラズマクリーナープラズマ洗浄装置カタログ

『プラズマ装置カタログ』

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取扱企業プラズマ装置プラズマクリーナープラズマ洗浄装置カタログ

ヤマトマテリアル株式会社

プラズマ洗浄装置（プラズマクリーナー）、プラズマ自動機、プラズマエッチング装置（エッチャー）、プラズマアッシング装置（アッシャー）、バーンイン用ICソケット・半導体測定用、検査用ソケット・バーンインボード、LSI測定治具、マイクロスコープ、歪検出方式気密防水試験器、光通信デバイス組立装置、各種組立設備の設計製作、工程内・出荷用トレイ（インジェクショントレイ・真空成型トレイ）、リテーナリング、非球面ガラスレンズなどの製造及び販売。