【MiniLab-026/090】グローブボックス薄膜実験装置テルモセラ・ジャパン

小型・省スペース! 有機薄膜開発に好適蒸着・スパッタ・アニール等全ての作業をグローブボックス内でシームレスに行う事ができます。

OLED（有機EL）, OPV（有機薄膜太陽電池）, OTFT（有機薄膜太陽電池）, 又, グラフェン, TMD（遷移金属ダイカルコゲナイド）などの2D材料における成膜プロセスでは、酸素・水分から隔離された不活性ガス雰囲気で試料を取扱う必要があります。
MiniLab-026/090-GBでは、PVDチャンバーをGB内に収納することにより有機膜用途の「酸素・水分フリー」実験環境をコンパクトな省スペース環境で実現します。

【特徴】
◉ PVD成膜、スピンコート塗布・ホットプレートベーキングなど一連の作業を外気に晒すことなく、GB内でシームレスに行うことができます。
◉ 省スペース：背面にチャンバーがせり出しませんので、スペースを取りません。
【MiniLab対象】
◉ MiniLab-026（26ℓ容積）：金属/絶縁物/有機材料蒸着、スパッタリング、プラズマエッチング、アニール
◉ MiniLab-090（90ℓ容積）：金属/絶縁物/有機材料蒸着、EB蒸着、スパッタリング、プラズマエッチング、アニール

※ まずはご要求の仕様をご連絡下さい、ご要望に合わせシステム構成致します。

基本情報【MiniLab-026/090】グローブボックス薄膜実験装置

【GB対応 MiniLab-026/090主仕様】
◉ 基板サイズ：最大Φ6"(026）、最大Φ10"（090）
◉ チャンバ：SUS304製 UHV対応（*090はスライドドア式, 背面メンテナンスドア）
◉ 19inch制御ラックは作業ベンチ下に収納
◉ MLチャンバー内成膜モジュール：
・抵抗加熱蒸着源（最大4源）
・有機蒸着源（最大4源）
・Φ2"マグネトロンカソード（最大3基）
・プラズマエッチング
・基板加熱ステージなどを搭載
◉ 高精度膜厚制御
◉ ターボ分子ポンプ+ロータリーポンプ（ドライスクロールポンプオプション）
◉ その他豊富なオプション

＊その他の詳細仕様は当社へお問い合わせ下さい。

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納期	お問い合わせください
型番・ブランド名	MiniLab-026/090-GB
用途／実績例	OLED（有機EL） OPV（有機薄膜太陽電池） OTFT（有機薄膜太陽電池）グラフェン 2D材料（遷移金属ダイカルコゲナイドなどの二次元層状無機ナノ材料）他

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詳細情報【MiniLab-026/090】グローブボックス薄膜実験装置

: TE1（1極）〜TE4（4極）抵抗加熱フィラメント
*写真は3極式。予備ポートを多数備えたベースチャンバで、配置変更/増設を容易に行う事ができます。

: Basket type thermal source
MiniLab-LT26A抵抗加熱蒸着装置用
バスケットタイプx4極式

: 有機材料蒸着源セル LTES-1cc or 5cc
Organic source cell for MiniLab series
容易に材料補充時のルツボ着脱作業が可能
アルミナ or 石英ルツボ
温度制御範囲80〜600℃
UHV対応
専用コントローラ LTEC-1S（1ch）, LTEC-4S（4ch）にて高精度PID自動膜厚ループコントロールが可能（±0.1Å/sec）