テルモセラ・ジャパン株式会社 【MiniLab-026/090】グローブボックス薄膜実験装置

小型・省スペース! 有機薄膜開発に好適 蒸着・スパッタ・アニール等全ての作業をグローブボックス内でシームレスに行う事ができます。

OLED(有機EL), OPV(有機薄膜太陽電池), OTFT(有機薄膜太陽電池), 又, グラフェン, TMD(遷移金属ダイカルコゲナイド)などの2D材料における成膜プロセスでは、酸素・水分から隔離された不活性ガス雰囲気で試料を取扱う必要があります。
MiniLab-026/090-GBでは、PVDチャンバーをGB内に収納することにより有機膜用途の「酸素・水分フリー」実験環境をコンパクトな省スペース環境で実現します。

【特徴】
◉ CVD/PVD成膜、スピンコート塗布・ホットプレートベーキングなど一連の作業を外気に晒すことなく、GB内でシームレスに行うことができます。
◉ 省スペース:背面にチャンバーがせり出しませんので、スペースを取りません。
【MiniLab対象】
◉ MiniLab-026(26ℓ容積):金属/絶縁物/有機材料蒸着、スパッタリグ、RF/DCエッチング、アニール
◉ MiniLab-090(90ℓ容積):金属/絶縁物/有機材料蒸着、スパッタリグ、RF/DCエッチング、アニール

※ まずはご要求の仕様をご連絡下さい、ご要望に合わせシステム構成致します。

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基本情報【MiniLab-026/090】グローブボックス薄膜実験装置

【GB対応 MiniLab-026/090主仕様】
◉ チャンバ:SUS製(*090はスライドドア式, 背面メンテナンスドア)
◉ 19inch制御ラックは作業ベンチ下に収納
◉ MLチャンバー内成膜モジュール:
・抵抗加熱蒸着源(最大4源)
・有機蒸着源(最大4源)
・Φ2"マグネトロン(最大3基)
・RF/DCエッチング(最大Φ6inchステージ)
・基板加熱ステージ(最大Φ6inchステージ)などを搭載
◉ 高精度膜厚制御
◉ ターボ分子ポンプ+ロータリーポンプ(ドライスクロールポンプオプション)
◉ その他豊富なオプション

*その他の詳細仕様は当社へお問い合わせ下さい。

価格帯 お問い合わせください
納期 お問い合わせください
型番・ブランド名 MiniLab-026-GB
用途/実績例 OLED(有機EL)
OPV(有機薄膜太陽電池)
OTFT(有機薄膜太陽電池)
グラフェン
2D材料(遷移金属ダイカルコゲナイドなどの二次元層状無機ナノ材料)

詳細情報【MiniLab-026/090】グローブボックス薄膜実験装置

TE1(1極)〜TE4(4極)抵抗加熱フィラメント
*写真は3極式。予備ポートを多数備えたベースチャンバで、配置変更/増設を容易に行う事ができます。

Basket type thermal source
MiniLab-LT26A抵抗加熱蒸着装置用
バスケットタイプx4極式

有機材料蒸着源セル LTES-1cc or 5cc
Organic source cell for MiniLab series
容易に材料補充時のルツボ着脱作業が可能
アルミナ or 石英ルツボ
温度制御範囲80〜600℃
UHV対応
専用コントローラ LTEC-1S(1ch), LTEC-4S(4ch)にて高精度PID自動膜厚ループコントロールが可能(±0.1Å/sec)

LT26A_Glovebox-system-installed-1
LT26A_Glovebox-system-installed-1

LT26A_Glovebox-system-installed-2
LT26A_Glovebox-system-installed-2

カタログ【MiniLab-026/090】グローブボックス薄膜実験装置

取扱企業【MiniLab-026/090】グローブボックス薄膜実験装置

iPROS_Thermocera-image-2.jpg

テルモセラ・ジャパン株式会社

【営業品目】 1. CVD・PVD真空薄膜実験用超高温基板加熱ヒーター 2. 真空薄膜実験装置 3. 超高温実験炉 4. 赤外線放射温度計 5. 真空コンポーネント 6. カスタムメイド装置

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