株式会社羽生田鉄工所半導体装置メーカー必見！丸型・角型クラッチドア式圧力容器

最終更新日：2023-01-11 16:07:23.0
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半導体デバイスのボイド対策に適した圧力容器など、小型から大型まで、半導体製造工程で必要な様々な用途の圧力容器を製作いたします！

羽生田鉄工所では、真空／加圧／加熱、等の雰囲気処理装置の仕様検討から設計・製作・組み立て・納品までをワンストップで行っております。
これまで半導体製造工程で使用する様々な装置向けの圧力容器を手掛けて参りました。
半導体デバイスのボイド対策に適した圧力容器の製作や新たな製造工法の研究などで試作機を作るお手伝いをさせていただくことが多いです。
ご要望に合わせて全てオーダーメイドで対応いたします。

新たな製造工法をご検討の場合、弊社常設の加圧加熱処理装置にて実験も可能です。

【特長】
■φ250の小型容器からφ3000の大型容器まで製作いたします。

※詳しくはカタログをご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

基本情報半導体装置メーカー必見！丸型・角型クラッチドア式圧力容器

※詳しくはカタログをご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

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用途／実績例	【用途例】 ■ウエハと接着剤の貼り合せ、脱泡（加圧加熱） ■ウエハ乾燥（加減圧加熱） ■単結晶サファイア製造炉（試作） ■アニール処理、歪み直し（蒸気加熱、熱風乾燥） ※詳しくはカタログをご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。