ＤＬＣ除膜装置（精密金型用プラズマクリーナー）神港精機

非球面レンズのＤＬＣ膜の除去に実績豊富なプラズマクリーニング装置。高付加価値金型のリペアに必須のドライ除膜装置

実績豊富なプラズマクリーニング装置「ＰＯＥＭ」をＤＬＣ除膜用にグレードアップ＆カスタマイズ。
従来型より処理時のイオンのエネルギーを向上させ緻密なＤＬＣ膜の除去に対応。通常のＯ２クリーニングプロセスだけでなくマルチガスプロセスでＳｉ含有ＤＬＣなどカスタマイズされた各種ＤＬＣ膜の除去に実績。
当然ＤＬＣ除膜だけでなく成型残差や型表面の酸化層の除去、メッキ前のクリーニングにも対応。
型の仕様前後のクリーニング・表面処理に実績のプロセスを提供

特設サイト

基本情報ＤＬＣ除膜装置（精密金型用プラズマクリーナー）

２５０ｍｍ□の処理ステージに均一なプラズマを実現したプラズマクリーニング装置。
従来機「ＰＯＥＭ」よりイオンエネルギーを向上。より強いイオン衝撃とＯ２イオンでＤＬＣを除膜。ドライプロセスで基板ダメージと廃液処理の不要なクリーンプロセスを実現。
プラズマエッチングで蓄積されたマルチガスプロセスで多様なＤＬＣ膜の除去に対応するとともに微細加工モールドの作成にも実績。ＤＬＣだけでなく有機膜エッチングや石英の微細エッチングにも対応可能なプラズマクリーニング装置

価格情報	お問合せ下さい。
納期	お問い合わせください ※お問合せ下さい。
用途／実績例	非球面レンズのＤＬＣ除膜光ディスクスタンパ　クリーニング・表面処理樹脂成型用金型のクリーニング

ラインナップ

型番	概要
プラズマクリーニング装置「ＰＯＥＭ]	実装基板の接合前処理や樹脂の表面処理に実績豊富なプラズマクリーニング装置のベストセラー機

カタログＤＬＣ除膜装置（精密金型用プラズマクリーナー）

取扱企業ＤＬＣ除膜装置（精密金型用プラズマクリーナー）

神港精機株式会社東京支店

●装置事業部（成膜装置）・スパッタリング装置・真空蒸着装置・硬質膜形成装置・プラズマCVD装置（プラズマ装置）・エッチング装置・アッシング装置・クリーニング装置（熱処理装置）・真空リフロー装置・プラズマリフロー装置・真空熱処理装置・アニール装置 ●規格品事業部・ドライポンプ・油回転真空ポンプ・水封式真空ポンプ・メカニカルブースタ・真空排気装置・真空計、真空弁、真空部品・精密投影機・特殊光学機器