丸菱実業株式会社 ライボルト社ターボ分子ポンプ

オイルフリー・メンテナンスフリーのコンパクトなターボ分子ポンプです。

セラミックベアリング型の高信頼性ポンプです。
ローターステージとドラッグステージにより、N2はもちろん、H2の
圧縮比・排気速度・スループットが大きい設計になっています。
コントローラは、装置組込み用廉価版コントローラと、ラック型
コントローラがあります。

基本情報ライボルト社ターボ分子ポンプ

<主な仕様>
排気速度:90 l/s~450 l/s
到達圧力:5×10e-8 Pa
フランジ:ICF、ISO-K
取付位置:自由
冷却:自然空冷・強制空冷・水冷

弊社ではライボルト社・ファイファー社・エドワーズ社・アジレント社
のターボ分子ポンプを販売しております。
仕様はカタログ及び弊社のホームページをご確認ください。



価格帯 50万円 ~ 100万円
納期 お問い合わせください
用途/実績例 【用途】
○成膜装置
○電子顕微鏡
○表面分析装置
○質量分析装置
○加速器
○核融合実験装置
○半導体製造装置(イオン注入、ドライエッチ、MBE)

 

カタログライボルト社ターボ分子ポンプ

取扱企業ライボルト社ターボ分子ポンプ

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丸菱実業株式会社

【特徴】 ○建設機械、プラスチック加工機械、包装荷造機械、電子電気計測機作業用ロボット、電子応用装置、コンピューター通信機器部品等の国内販売、並びに輸出入 ○半導体製造装置及び部品の国内販売、並びに輸出入 ○航空機用部品、自動車、オートバイの国内販売、並びに輸出入 ●詳しくはお問い合せ、またはカタログをご覧ください。

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