オイルフリー・メンテナンスフリーのコンパクトなターボ分子ポンプです。
セラミックベアリング型の高信頼性ポンプです。
ローターステージとドラッグステージにより、N2はもちろん、H2の
圧縮比・排気速度・スループットが大きい設計になっています。
コントローラは、装置組込み用廉価版コントローラと、ラック型
コントローラがあります。
基本情報ライボルト社ターボ分子ポンプ
<主な仕様>
排気速度:90 l/s~450 l/s
到達圧力:5×10e-8 Pa
フランジ:ICF、ISO-K
取付位置:自由
冷却:自然空冷・強制空冷・水冷
弊社ではライボルト社・ファイファー社・エドワーズ社・アジレント社
のターボ分子ポンプを販売しております。
仕様はカタログ及び弊社のホームページをご確認ください。
価格帯 | 50万円 ~ 100万円 |
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納期 | お問い合わせください |
用途/実績例 | 【用途】 ○成膜装置 ○電子顕微鏡 ○表面分析装置 ○質量分析装置 ○加速器 ○核融合実験装置 ○半導体製造装置(イオン注入、ドライエッチ、MBE) |
カタログライボルト社ターボ分子ポンプ
取扱企業ライボルト社ターボ分子ポンプ
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