神港精機株式会社 硬質膜用スパッタリング装置STL5521型(精密レンズ金型用)

最大5元カソードによる多元・多層成膜。耐摩耗性・耐熱性・平滑薄膜。ロードロックタイプぷで高温成膜でもハイスループット。

精密レンズ金型のコーティングに必要な耐熱性の高い耐摩耗膜のに形成に最適。レンズ金型のコーティングに適したPtやRuなどの貴金属合金を多元同時スパッタで小径カソードで効率的に形成。またナノ多層構造の積層膜により耐熱性と硬度に優れた膜も形成可能。
精密レンズ金型のような基板を高速に加熱できる特殊基板台と専用ロードロック機構でスループット向上を実現。

基本情報硬質膜用スパッタリング装置STL5521型(精密レンズ金型用)

最大5元kソードを装備し、5元同時スパッタが可能な専用スパッタ室と重量基板の搬送に適したロードロック機構で金型コーティングに対応。
650℃の加熱とガス冷却機構を併用する特殊基板台を装備。
高温加熱による膜の密着力の確保と処理の高速化を実現。
幅広い材質・形状に最適な膜種・処理温度・プロセスを実現できる硬質膜用専用ロードロックタイプスパッタリング装置

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型番・ブランド名 STL5521型
用途/実績例 精密レンズ金型コーティング

カタログ硬質膜用スパッタリング装置STL5521型(精密レンズ金型用)

取扱企業硬質膜用スパッタリング装置STL5521型(精密レンズ金型用)

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神港精機株式会社 東京支店

●装置事業部 (成膜装置) ・スパッタリング装置 ・真空蒸着装置 ・硬質膜形成装置 ・プラズマCVD装置 (プラズマ装置) ・エッチング装置 ・アッシング装置 ・クリーニング装置 (熱処理装置) ・真空リフロー装置 ・プラズマリフロー装置 ・真空熱処理装置 ・アニール装置 ●規格品事業部 ・ドライポンプ ・油回転真空ポンプ ・水封式真空ポンプ ・メカニカルブースタ ・真空排気装置 ・真空計、真空弁、真空部品 ・精密投影機 ・特殊光学機器

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