株式会社片桐エンジニアリング F-RadiMoラジカルモニター『SP型-RadiMo』

真空紫外吸収分光法でフッ素ラジカルの絶対密度計測!計測応用もさまざま

『SP型-RadiMo』は、吸収分光法により基底状態のフッ素ラジカルの
絶対密度の計測ができる装置です。

光源から放射されるプローブ光のスペクトルは、高精度にキャリブレーション
されています。

また、発光・非発光プラズマのどちらでも計測することが可能。F-RadiMoは
プロセス装置のポートに取り付けることにより計測できるようになります。

【特長】
■フッ素ラジカルの絶対密度の計測
■発光、非発光プラズマのどちらでも計測可能
■絶対密度算出のための較正が必要ない
■F-RadiMoはプロセス装置のポートに取付けて計測可能
■さまざまな計測応用

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

基本情報F-RadiMoラジカルモニター『SP型-RadiMo』

【ラジカル計測応用】
■プラズマ発生ラジカル計測
・エッチング装置:低誘電率層間絶縁膜エッチング、シリコン酸化膜エッチング、シリコンエッチング
・表面処理装置:撥水膜堆積、誘電体膜、絶縁膜堆積
・チャンバークリーニング:シリコン、タングステン
■ダウンフロープラズマ発生ラジカル計測
■アフターグロープラズマ発生ラジカル計測

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カタログF-RadiMoラジカルモニター『SP型-RadiMo』

取扱企業F-RadiMoラジカルモニター『SP型-RadiMo』

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株式会社片桐エンジニアリング

○各種真空装置の開発・設計・製作・サービス ○半導体製造装置の開発・設計・製作・サービス ○一般機械装置の開発・設計・製作・サービス

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