株式会社片桐エンジニアリング F-RadiMoラジカルモニター『SP型-RadiMo』
- 最終更新日：2020-05-26 13:30:44.0
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真空紫外吸収分光法でフッ素ラジカルの絶対密度計測！計測応用もさまざま
『SP型-RadiMo』は、吸収分光法により基底状態のフッ素ラジカルの
絶対密度の計測ができる装置です。
光源から放射されるプローブ光のスペクトルは、高精度にキャリブレーション
されています。
また、発光・非発光プラズマのどちらでも計測することが可能。F-RadiMoは
プロセス装置のポートに取り付けることにより計測できるようになります。
【特長】
■フッ素ラジカルの絶対密度の計測
■発光、非発光プラズマのどちらでも計測可能
■絶対密度算出のための較正が必要ない
■F-RadiMoはプロセス装置のポートに取付けて計測可能
■さまざまな計測応用
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
基本情報F-RadiMoラジカルモニター『SP型-RadiMo』
【ラジカル計測応用】
■プラズマ発生ラジカル計測
・エッチング装置：低誘電率層間絶縁膜エッチング、シリコン酸化膜エッチング、シリコンエッチング
・表面処理装置：撥水膜堆積、誘電体膜、絶縁膜堆積
・チャンバークリーニング：シリコン、タングステン
■ダウンフロープラズマ発生ラジカル計測
■アフターグロープラズマ発生ラジカル計測
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| 価格帯 | お問い合わせください |
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| 用途／実績例 | ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。 |
カタログF-RadiMoラジカルモニター『SP型-RadiMo』
取扱企業F-RadiMoラジカルモニター『SP型-RadiMo』
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○各種真空装置の開発・設計・製作・サービス ○半導体製造装置の開発・設計・製作・サービス ○一般機械装置の開発・設計・製作・サービス
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