株式会社片桐エンジニアリング 高真空蒸着装置『KW-030D』
- 最終更新日：2020-05-26 13:37:20.0
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水晶振動式膜厚モニター搭載！コンパクト設計でクリーンな成膜が可能
『KW-030D』は、小規模生産用及び各研究機関の実験用として、コンパクト
設計により初心者でも容易に作業ができる高真空蒸着装置です。
ターボ分子ポンプを搭載することにより、高真空での成膜が可能。
また、基板傾斜機構も搭載し、2軸の回転角度を調節することにより
斜め蒸着ができます。
【特長】
■初心者でも容易に作業可能
■ターボ分子ポンプ搭載
■基板傾斜機構搭載
■蒸発源は抵抗加熱3基、オプションでEB加熱に対応
■水晶振動式膜厚モニター搭載
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基本情報高真空蒸着装置『KW-030D』
【仕様(抜粋)】
■到達圧力：4×10^-5Pa
■排気時間：5×10^-4Paまで10分以内
■ベルジャー：SUS304 Φ507×H422
■蒸発源：抵抗加熱蒸発源3対、2kW 3連EBガン(オプション)
■排気系：TMP800L/sec、RP360L/min、真空バルブ類一式、付属品
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カタログ高真空蒸着装置『KW-030D』
取扱企業高真空蒸着装置『KW-030D』
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○各種真空装置の開発・設計・製作・サービス ○半導体製造装置の開発・設計・製作・サービス ○一般機械装置の開発・設計・製作・サービス
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