株式会社片桐エンジニアリング 高真空蒸着装置『KW-030D』

水晶振動式膜厚モニター搭載!コンパクト設計でクリーンな成膜が可能

『KW-030D』は、小規模生産用及び各研究機関の実験用として、コンパクト
設計により初心者でも容易に作業ができる高真空蒸着装置です。

ターボ分子ポンプを搭載することにより、高真空での成膜が可能。

また、基板傾斜機構も搭載し、2軸の回転角度を調節することにより
斜め蒸着ができます。

【特長】
■初心者でも容易に作業可能
■ターボ分子ポンプ搭載
■基板傾斜機構搭載
■蒸発源は抵抗加熱3基、オプションでEB加熱に対応
■水晶振動式膜厚モニター搭載

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

基本情報高真空蒸着装置『KW-030D』

【仕様(抜粋)】
■到達圧力:4×10^-5Pa
■排気時間:5×10^-4Paまで10分以内
■ベルジャー:SUS304 Φ507×H422
■蒸発源:抵抗加熱蒸発源3対、2kW 3連EBガン(オプション)
■排気系:TMP800L/sec、RP360L/min、真空バルブ類一式、付属品

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カタログ高真空蒸着装置『KW-030D』

取扱企業高真空蒸着装置『KW-030D』

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株式会社片桐エンジニアリング

○各種真空装置の開発・設計・製作・サービス ○半導体製造装置の開発・設計・製作・サービス ○一般機械装置の開発・設計・製作・サービス

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