非接触式シート抵抗測定機『LEI-1510シリーズ』日本セミラボ

広い範囲で優れた測定直線性！三次元グラフィックマップとしてPCモニター上で確認可能

『LEI-1510シリーズ』は、旧リハイトン社製の非接触式シート抵抗測定機です。

ロボットを取り付ける事により、多数枚を迅速に計測処理する事が可能。
四探針方式で起こる、探針の接触汚染や接触具合による再現性の問題を
解決します。

2インチから最大8インチまでのSiウェーハ、化合物半導体(GaAs、GaN、InP等)
epiウエハを非接触・破壊にてシート抵抗を測定します。

【特長】
■探針の接触汚染や接触具合による再現性の問題を解決
■多数枚を迅速に計測処理する事が可能
■0.035～3200ohm／sq.という広い範囲で優れた測定直線性
■計測データを三次元グラフィックマップとしてPCモニター上で確認可能

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

関連リンク - https://www.semilab-j.jp/model/non-contact-sheet-r…

基本情報非接触式シート抵抗測定機『LEI-1510シリーズ』

【機能詳細】
■最大300点まで計測可能
■自動ドリフト補正
■ソフトウェアで抵抗の測定範囲を選択可能
■カセットToカセット式ソーティング
■外部膜厚入力
■ウェーハマッピング(2次元等高線、3次元グラフィック）
■SPC(Statistical Process Control)統計管理ソフト

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取扱企業非接触式シート抵抗測定機『LEI-1510シリーズ』

日本セミラボ株式会社新横浜本社

■半導体測定装置の輸入販売及び技術サービスの提供 ■下記製品の取り扱いをしています。分光エリプソメーター非接触シート抵抗測定装置 DLTS測定システムナノインデンター AFM（原子間力顕微鏡）キャリア移動度測定装置非接触CV測定装置ライフタイム測定装置フォトルミネッセンス装置仕様や価格情報などお気軽にお問い合わせください。