アップ・テック・ジャパン株式会社 室温型ガス精製器『Point-of-Use-Purifiers』
- 最終更新日:2020-06-15 17:16:03.0
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さまざまな流量に対応し、ガス供給システムの最高レベルの純度を維持します
『Point-of-Use-Purifiers』は、プロセスガス中の不純物レベルを
100PPT以下にする必要がある超高純度のアプリケーション向けに設計された
室温型ガス精製器です。
熱を加えることなく不純物を除去。
Novaシリーズ・インライン精製装置はヒーター、温度表示、
および制御が組み込まれています。
また、ProPanelシリーズ精製装置は高度な自動制御を提供します。
【特長】
■0.3から20slpmの公称流量
■4.5から300slpmの最大流量
■316Lステンレス鋼構造
■一体型Perticle filter内蔵
■簡単な設置
※詳しくはPDFをダウンロードして頂くか、お問い合わせください。
基本情報室温型ガス精製器『Point-of-Use-Purifiers』
【オプション】
■入口/出口フィッティング
■入口/出口バルブ
■0.003μパーテクルフィルタ
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価格帯 | お問い合わせください |
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納期 | お問い合わせください |
用途/実績例 | ※詳しくはPDFをダウンロードして頂くか、お問い合わせください。 |
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