アトナープ株式会社 小型質量分析装置『AMS1000』※デモ機貸し出しOK

小型で省スペース。小型センサ採用で中真空領域でも使用可能!プロセスガスのモニタに好適

『AMS1000』は、コンパクトな筐体の中にプロセスガスのモニタリングに
必要な要素を全て備え、電力投入後5分以内に使用できる質量分析装置です。

1台で様々な種類のガスを同時にモニタリングすることが可能。
真空ポンプを内蔵しており、サンプル圧力範囲も広いため、
ガスの取込口のすぐそばに設置できます。

内部には、オープンイオン源、マスフィルタ、ファラデーカップ検出器を
備えた四重極型質量分析計を搭載しています。

【主なアプリケーション】
■エッチング、エンドポイントモニタ
■チェンバ汚染モニタ
■ガス除害システムの残留ガス分析
■真空凍結乾燥のモニタ
■天然ガス分析モニタ など

★半導体製造における、「成膜モニタ」と「エッチングプロセスモニタ」の
 アプリケーション資料を進呈中。「PDFダウンロード」よりすぐにご覧いただけます。

★デモ機の貸し出しをご希望の方は、お気軽にお問い合わせください。

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基本情報小型質量分析装置『AMS1000』※デモ機貸し出しOK

【主な仕様】
サイズ:256×204×200mm
サンプル圧力範囲:1.3×e-3~1×e5Pa
重さ:8.9kg

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

価格帯 お問い合わせください
納期 お問い合わせください
型番・ブランド名 AMS1000
用途/実績例 ※詳しくは資料をご覧ください。お問い合わせもお気軽にどうぞ。

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取扱企業小型質量分析装置『AMS1000』※デモ機貸し出しOK

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■半導体・天然ガス・医薬品業界における機器の開発・製造・販売 ■医療業界におけるシステムの開発・提供

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