プレシテック・ジャパン株式会社 高精度かつ高速な形状測定を実現するセンサ
- 最終更新日：2022-03-30 14:18:22.0
- 印刷用ページ
当社では、最大直径80mmの3D形状測定が高速で行える
超高速光学スキャナー『Flying Spot Scanner(FSS)』と、
専用センサを組み合わせたシステムを提供しています。
平坦度、厚み、形状、縦と横の層と部品配置などを
高精度かつスピーディーに測定可能。
センサも幅広く取り揃えており、
要求される測定範囲や精度に合わせて選択できます。
【FSSの特長】
■高精度：Z方向分解能最小5nm
■高速スキャン：70,000ポイント/秒
■インライン測定に好適
■測定範囲内なら自由に部分測定可能
※詳しくは資料をご覧ください。お問い合わせもお気軽にどうぞ。
基本情報高精度かつ高速な形状測定を実現するセンサ
【仕様】
《FSS仕様》
「FSS80」
原理：分光干渉
側面分解能：21μm
分解能(Z)：最小5nm
スキャンエリア：80mm
「FSS40」
原理：分光干渉
側面分解能：6.5μm
分解能(Z)：最小5nm
スキャンエリア：40mm
《センサ例》
「CHRooodile 2 DW 250」
測定レンジ：0～1800μm(形状測定として)
Z方向分解能：5nm
Z方向直線性：0.6μm
サンプリングレート：70kHz
光源：赤外線SLD
通信方式：Ethernet,RS422,Analog,LVDT
※詳しくは資料をご覧ください。お問い合わせもお気軽にどうぞ。
| 価格帯 | お問い合わせください |
|---|---|
| 納期 | お問い合わせください |
| 用途／実績例 | 【用途・測定項目・メリットなどキーワード】 非接触センサ、光センサ、光学センサ、分光干渉法、厚み、薄膜、厚膜、ギャップ、高さ、平坦度、TTV、形状、計測、測定、検査、高速、3次元、エリアスキャン、全面、高精度、インライン、モニタリング、オフライン、スタンドアロン機、卓上機、半導体、ウエハ、ウエハ貼あわせ、Siウエハ、Si, GaAs, InP, SiC, LiNbO3(LN), LiTaO3(LT), GaN, SiP、Al2O3(サファイア）、PCB、医療用バルーン、バリアフィルム、PETフィルム、コート、フィルム、多層フィルム、塗布膜、コンフォーマルコーティング、電極層コーティング、ステントコーティング、ポリイミド、PVB、樹脂材、フラックス、接着剤、絶縁膜、空気層、透明、透明体、光沢、鏡面、簡単 |
カタログ高精度かつ高速な形状測定を実現するセンサ
取扱企業高精度かつ高速な形状測定を実現するセンサ
-
-
■レーザ加工関連 - 加工ヘッド - 溶接ヘッド - プロセスモニター ■光学センサ <距離・形状、厚み測定> ・色収差共焦点 CHRocodileシリーズ - シングルポイント 2S/2SE：高精度 2HS：ハイパワー - デュアルポイント 2DPS - 廉価版シングルポイント C：プローブと一体 Mini：プローブと別体 - ラインセンサ CLS：低クロストークノイズ CLS2.0：長いライン長・広測定範囲 CLS2 PRO：長いライン長・角度許容度高 ・分光干渉CHRocodileシリーズ - シングルポイント 2IT：高精度 2DW：ドープウエハ対応 2RW：粗ウエハ対応 2SX：加工モニタリング用広測定範囲 ・分光干渉センサ用エリアスキャナ Flying Spot Scanner：Φ40～310mm ＊CHRocodileシリーズと組合わせ <厚み測定> レーザーフォトサーマルセンサ Enovasenseセンサ：不透明体の非接触測定
高精度かつ高速な形状測定を実現するセンサへのお問い合わせ
お問い合わせ内容をご記入ください。
