株式会社アクティブ 加熱スピンコーター(スピンコート機)『ACT-300AII-H』

注目度高し! 試料台の加熱が可能な卓上型スピンコート機ACT-300AII-H スピンコーターは製造メーカーのアクティブへ!

最近お引き合いの多いアクティブの人気機種『ACT-300A II-H』は、アルミ製試料台の直下にヒーターを内蔵した加熱式の卓上型手動滴下用スピンコーターです。

基板をのせる試料台を加熱するので、例えばワックスなどある程度基板が温まっていないと伸展性の悪い液をスピンコートする際に便利です。

1分間の回転数を0~6000の範囲で設定でき、その精度は±1rpm以下ととても良いです。1ステップの動作に「回転数」「加減速時間」「キープ時間」を同時に設定することができ、10ステップ100パターンのプログラム(事前連絡で、20ステップ50パターン、50ステップ20パターンも可能)で求める条件をだしやすいのも特徴です。

安全カバーには滴下用穴(スライドフタ付)があり回転中も滴下が可能です。インターロックセンサー付きで基板への真空吸着圧力を感知しないと回転せず、回転中も安全カバーが開くと自動で回転停止、と安全面にも配慮しています。

こちらをベースにした特注(高速回転仕様を追加など)も承れますので、お気軽にお問い合わせください。

ACT-300AII-Hのより詳しい情報を知りたい方は下記へアクセス!

基本情報加熱スピンコーター(スピンコート機)『ACT-300AII-H』

【特長(一部抜粋)】
・アルミ製試料台の直下にヒーターを内蔵
・表面温度:常温~150℃±5℃(PID制御)
・温度安定迄の時間:約20分間

【仕様(一部抜粋)】
■基板サイズ:Φ5~Φ150(Max.Φ6インチ、□100mm)基板対応
■外形寸法:W350×D450×H338(安全カバー閉時、アジャスタ付水平調整可能)
■電源:1Φ 100V-10A(ACサーボモーター200W)50 / 60Hz
■制御方法:マイコン制御(テンキー入力でプログラム簡単)

◎試料台が必須オプションです。スピンコートする基板の厚みを含めたサイズ、形状、材質、ご用途より最適なものを別途ご提案いたします。
◎真空ポンプが必須オプションです。(ただし真空吸着によらない基板固定の場合は不要です)

スピンコートしたい基板が大きい場合はカップ径を大きくすることで対応可能です。下方にあるラインナップで対応基板サイズをご確認ください。

オプションについてもっと知りたい方は下記へアクセス!
https://www.acti-ve.co.jp/spincoater/spincoater-option/

価格帯 100万円 ~ 500万円
納期 お問い合わせください
※目安60日間、都度ご確認ください
型番・ブランド名 ACT-300AII-H
用途/実績例 【用途】
半導体、太陽電池、モバイル、光学レンズ、メガネレンズ、ナノテク・バイオ、住宅機材、最先端医療関連、液晶などのディスプレイ、コーティングや薄膜を得る実験・研究・生産


高速回転仕様や、自動滴下、エッジリンス・バックリンス、搬送ロボットとのドッキング(上位からのPLC・シーケンサ制御)に興味がある方は下記へアクセス!
https://www.acti-ve.co.jp/spincoater/custom/

回転の遠心力で薄膜を得るよりも、スピンによる枚様式の乾燥や洗浄、エッチングに興味がある方は下記へアクセス!
https://www.acti-ve.co.jp/spincoater/clean/

コストを抑えた必要十分のベーシック仕様、手動滴下の標準機に興味がある方は下記へアクセス!
https://www.acti-ve.co.jp/spincoater/standard/

実際にスピンコート機が動いている様子を見たい方は下記へアクセス!
https://www.youtube.com/channel/UCycim-_Cc57UQuM648PZpEA/videos

ラインナップ

型番 概要
ACT-300AII-H Φ5~Φ150 (Max.Φ6インチ、□100mm) 基板対応
ACT-400AII-H Φ5~Φ200 (Max.Φ8インチ、□150mm) 基板対応
ACT-500AII-H Φ5~Φ300 (Max.Φ12インチ、□220mm) 基板対応

詳細情報加熱スピンコーター(スピンコート機)『ACT-300AII-H』

アクティブのスピンコーターは無償での『デモ機の貸出・サンプルテスト』も行っております。

加熱型スピンコーターは現在サンプルテストのみ対応しております。

台数に限りがある為すでにお貸出中の場合はお待ちいただきますが、ACT-220AIIとACT-300AIIは常備しておりますのでお気軽にお問い合わせ下さい。

基板をのせる試料台については、お客様に合わせて設計・製作する性質上、ベストなデモ用試料台は持ち合わせておりません。スピンコートしたい基板が吸着できるベターな試料台でのデモ・テストとなります。有償で基板に合わせた試料台を製作することは可能です。

デモ機貸出のご依頼は下記からお申込みいただけます。
https://www.acti-ve.co.jp/spincoater/loan_request_spincoater/

サンプルテストのご依頼は下記からお申込みいただけます。
https://www.acti-ve.co.jp/spincoater/sample_test_request_spincoater/

弊社アクティブはスピンコーターの設計・製造・販売を行っております。

小型や卓上タイプの場合、それだけ機能が制限されてしまうかと思われがちですが、アクティブの小型スピンコーターは高性能を維持しつつコストを抑えた製品となっております。

AC100Vのため普通のコンセントで使用可能です。
コンパクトサイズで配置場所にも困りません。
特注機の製造にも対応しているため、お客様のご要望にピンポイントで合わせたスピンコーターを販売できます。

回転の遠心力を用いた枚様式の装置について、ご興味やお困り事など御座いましたらスピンコーター製造メーカーのアクティブにお気軽にご相談ください。

弊社アクティブについてもっと知りたい方は下記へアクセス!
https://www.acti-ve.co.jp/features/

アクティブ製のスピンコーターは、1ステップの動作に「回転数」「加減速時間」「キープ時間」を同時に設定することができる、10ステップ100パターンのプログラム(事前にご連絡いただくことで、20ステップ50パターン、50ステップ20パターンも可能)で求める条件をだしやすく、操作パネルがシンプルで簡単です。

プログラム(ステップの考え方とレシピの設定方法)について詳しく知りたい方は下記へアクセス!
https://www.acti-ve.co.jp/spincoater/step/

操作画面について詳しく知りたい方は下記へアクセス!
https://www.acti-ve.co.jp/spincoater/display/

良く頂くご要望のひとつに「安価なACT-220AIIを加熱タイプにしてほしい」があります。

カップサイズをφ220mmで製作することは可能です。

ただ、標準機のACT-220AIIは筐体そのものが小さくカスタマイズ分の電装を収納する余地のない、小型かつ安価であることに特化した機種であるため、特注仕様の加熱タイプとは電子回路基板から異なる全く別の装置となります。同じにできるのはカップのサイズだけです。

カップサイズをφ220mmで製作しても、こちらのページに掲載しているφ300mmで製作しても外形サイズ、コストに差が出ません。

その為、現時点の課題ではφ100mm(□70mm)基板までスピンコートできれば十分であり、スピンコーターのカップサイズがφ220mmで問題なくとも、将来的にスピンコートしたい基板が増える可能性を考慮しカップサイズφ300mmでご依頼いただくケースが多いです。

本腰を入れてスピンコート機を選定し始めると、様々な疑問が発生すると思います。

スピンコーター購入で課題はクリアできるのか、試料台は基板サイズが変わっても使い続けられるのか、アクティブという会社は長くお付き合いするに値するのか・・・

多くの方々が疑問に思うことを解消したい方は、是非下記へアクセスしてください。よくある質問集となります。
https://www.acti-ve.co.jp/spincoater/qa/

上記閲覧しても解決しない問題は直接お問い合わせ下さい。
https://www.acti-ve.co.jp/contact/

カタログ加熱スピンコーター(スピンコート機)『ACT-300AII-H』

取扱企業加熱スピンコーター(スピンコート機)『ACT-300AII-H』

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株式会社アクティブ

【取扱品目】 ■スピンコーター(スピンコート機) ■電気炉 ■クリーンブース ■自動省力機械 アクティブ取扱い製品についてもっと知りたい方は下記へアクセス! https://www.acti-ve.co.jp/products/

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