【デモ機貸出可】ポリイミド静電チャッククリエイティブテクノロジー

クリーン度の維持に貢献！半導体製造装置やディスプレイ製造装置等に採用されています

『ポリイミド静電チャック』は、摩耗によるパーティクルの発生が少なく、
可動部が無いことから、クリーン度の維持に貢献します。

薄い製品や変形しやすい製品に、ストレスを与えずに把持することができ、
ウェハやガラスなどの搬送用に使用する場合、1W以下の電力で使用可能。

また、把持力は大気中だけでなく、真空中でも発現します。
大気と真空プロセスを併用する設備でもご採用頂いております。

【特長】
■クリーンデバイス
■低ダメージ
■真空下でも使用可能
■低消費電力

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

関連リンク - https://youtu.be/CfDZeQKMPxg

基本情報【デモ機貸出可】ポリイミド静電チャック

【カスタマイズ仕様例(オプション)】
■電極最適化
■高温対応
■表面処理
■メンテナンス/修理
■大型化　など

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

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用途／実績例	【用途】 ■半導体製造工程やディスプレイ製造工程での基板の把持（搬送用、貼り合せ用、検査/測定用、温度制御用、その他） ■真空チャックやベルヌーイチャックでは困難な薄く変形しやすい製品の把持（搬送用、貼り合せ用、検査/測定用、温度制御用、その他） ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。