極微量ガス分析から大気圧サンプリングまで、単体での計測からシステムアップした分析装置として、高性能なモデルをそろえた質量分析計！
多様な質量分析を可能にする東京電?のラインナップをご紹介します。具体的にはこのような質量分析が可能になります。
【特徴】
■E-15Pa・m3/secの極微量ガス分析が可能
■極?真空下におけるE-13Pa台の?精度質量分析
■?素・?分の?精度計測
■?気圧リアルタイム分析（呼気・燃焼ガスなど）
※多様・?精度な質量分析のメカニズムの詳細はPDFをダウンロードしてご覧ください。
基本情報多様な質量分析を可能にする東京電子のラインナップ
■極・超?真空の?精度な質量分析
■表?分析
■半導体デバイスの劣化とガス放出
■光刺激、電?刺激によって発?するガス分析
■微量ガス分析（TDS/Out Gas）
■封?デバイス/MEMSのガス分析及び、E-15Pa・m3/sレベルのリーク試験
■ガラスのHe透過試験及び、微?気泡ガス分析
■?気圧分析（呼気、燃焼ガス、触媒反応）
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
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| 用途／実績例 | ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。 |
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