分光器、光源やステージなどオプション豊富で、小型・軽量・安価なシステム
『FilmSmart』は、膜厚、屈折率n/減衰係数k、透過/反射率、色すべてを
測定できるHMTEK社（台湾）の膜厚測定システムです。
CCD分光器、光源、ステージ、ファイバ集光系、パソコン、ソフトウェア一体型で、
面倒な作業・設定は一切必要なく、簡単に表面・薄膜測定できます。
【特長】
■測定範囲：200A～400,000A
■波長範囲：380-850nm
■屈折率n・減衰係数k、透過・反射・色測定も可能
■小型・軽量付属ソフトで簡単測定
■自動XYステージ：2次元、3次元描画（オプション）
※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。
基本情報膜厚測定システム『FilmSmart』
【構成】
■CCD分光器
■光源（380～900nm）
■集光系
■ノートPC（ソフト込み）
■10×10cmステージ
※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。
| 価格帯 | お問い合わせください |
|---|---|
| 納期 | お問い合わせください |
| 用途／実績例 | 【測定対象】 ■SiO2、NOx、ITO、フォトレジスト、TiO2、多結晶シリコン、ポリイミド、Nb2O5、 サファイア基板の窒化ガリウム、ガラス、シリコン、AI、Cr、PET、PLED など ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。 |
カタログ膜厚測定システム『FilmSmart』
取扱企業膜厚測定システム『FilmSmart』
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