アステック株式会社 Bシリーズ インピーダンス自動整合器

Bシリーズ インピーダンス自動整合器

高速初期整合、高速連続整合、高精度整合可能
プラズマ用自動整合器

【特徴】
○広範囲なインピーダンス・カバー
○多周波数化
○容量結合と誘導結合
○チャンバで発生する高調波除去フィルタや、
  2周波方式用結合フィルタ等の製作や整合器への組込可能
○別置型コントローラーRC−12附属
  ・高速・高精度整合
  ・プリセット
  ・フロント・パネル・コントロール
  ・幅広い電源入力電圧に対応

●その他機能や詳細については、カタログダウンロード下さい。

基本情報Bシリーズ インピーダンス自動整合器

高速初期整合、高速連続整合、高精度整合可能
プラズマ用自動整合器

【特徴】
○広範囲なインピーダンス・カバー
○多周波数化
○容量結合と誘導結合
○チャンバで発生する高調波除去フィルタや、
  2周波方式用結合フィルタ等の製作や整合器への組込可能
○別置型コントローラーRC−12附属
  ・高速・高精度整合
  ・プリセット
  ・フロント・パネル・コントロール
  ・幅広い電源入力電圧に対応

●その他機能や詳細については、カタログダウンロード下さい。

価格 -
価格帯 お問い合わせください
納期 お問い合わせください
型番・ブランド名 Bシリーズ
用途/実績例 【用途】
○プラズマ・エッチング
○RlE
○プラズマCVD
○バイアス用電源
○RFスパッタリング
○イオン・プレーティング
○その他プラズマ処理一般

カタログBシリーズ インピーダンス自動整合器

取扱企業Bシリーズ インピーダンス自動整合器

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アステック株式会社

【東京本社】 応用科学事業部 TEL:03-3366-0811 科学計測事業部 TEL:03-3366-0818 電子応用事業部 TEL:03-3366-0813 半 導 体事業部 TEL:03-3367-8921 【大阪営業所】TEL06-6375-5852

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