ムサシノ電子株式会社 精密研磨装置『MA-150』
- 最終更新日：2023-06-15 09:31:37.0
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『MA-150』は、パーソナルタイプの研磨機でSEM、EPMA、
TEM等の横に設置し、1つの目的に対して1台を使用できるように
設計開発されております。
小型でスペースを占有しないため、小さい試料を研磨する際に適しており、
半導体ウェハー、サファイア、SiC、ガラス、セラミックスなどの研磨が可能。
試料に合わせた研磨盤・研磨剤を使用することでより良い研磨面が得られます。
【特長】
■パーソナルタイプの研磨機
■1つの目的に対して1台を使用できるように設計開発されている
■試料に合わせた研磨盤・研磨剤を使用することでより良い研磨面が得られる
■小型でスペースを占有しないため、小さい試料を研磨する際に好適
■半導体ウェハー、サファイア、SiC、ガラス、セラミックスなどの研磨が可能
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
基本情報精密研磨装置『MA-150』
【操作盤】
■切替スイッチ：TIMERモード/RUNモード/STOPの切替が容易に行える
■スピード調節ボリューム：調節ボリュームで研磨盤の回転速度を無段階調節することが可能
■タイマー：研磨時間を設定することができる（上限99分59秒まで）
【加工実績のある材料例】
■半導体材料(シリコン、ゲルマニウム、炭化ケイ素、珪化ストロンチウム、ガリウム砒素、インジウムガリウムヒ素、インジウムリン、酸化インジウムガリウム亜鉛、窒化ガリウム、酸化ガリウム、カドミウムテルル …など)
■光学材料(石英ガラス、サファイア、蛍石レンズ、スピネル、リン酸塩ガラス、ホウ酸リチウム、アクリル樹脂(、CLBO、YiG、GGG …など)
セラミックス材料(アルミナ、ジルコニア、窒化ケイ素、フェライト …など)
■金属材料(鉄鋼材料、ステンレス、銅、金、銀、白金、アルミニウム、チタン、モリブデン …など)
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
| 価格帯 | お問い合わせください |
|---|---|
| 納期 |
お問い合わせください
※在庫がある場合は納期2週間程度 |
| 型番・ブランド名 | MA-150 |
| 用途／実績例 | ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。 |
ラインナップ
| 型番 | 概要 |
|---|---|
| MA-150 | 小型で手軽に、精密な研磨作業が行えます。 |
詳細情報精密研磨装置『MA-150』
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【TEMホルダー】
●研磨量を設定し、自動で必要量の研磨作業が可能です。
●樹脂包埋した試料や、円筒試料の研磨にも使用可能です。
●研磨量の設定精度は±5μm以下 (最少読みとり1μmのダイヤルゲージ付き)で調整可能です。
●研磨後の平行精度を±2µm以内に収めることが可能です。
●ストローク幅は5mmです。
●ご希望角度の斜め研磨用貼付け板もご用意可能です。
●スプリングを用いた無荷重タイプもございます。
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【埋め込み試料ホルダー】
Φ25mm, Φ30mm, Φ40mmの樹脂包埋試料（または円柱形試料）を固定して、精密に研磨可能です。画像は１つのサンプルを固定するホルダーですが、３ヶ掛け、６ヶ掛けのホルダーもご用意致します。
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【多目的ホルダー】
●貼付け用冶具では40mm × 30mmのサイズで試料を接着し、研磨可能です。
●傾斜研磨のための斜め研磨用冶具（傾斜5°）が付属します。
●挟み付け用冶具では試料を挟み付けたまま冶具を裏返すことで、両端面を研磨することが可能です。
●冶具の特注制作も承ります。
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【挟み付けホルダー】
●3箇所の挟み付け部位に板状試料をセットし、直角に研磨することが可能です。
●試料を外さずに上下面を研磨できるので、平行に仕上げることができます。
●試料サイズによりご希望の厚さの治具お引き受けします。ご希望の角度での研磨冶具も製作可能です。
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【特注試料ホルダーの製作について】
弊社ではお客様のサンプルに合わせた特注試料ホルダーの設計・製造も承っております。
是非、お気軽にお申し付けください。
カタログ精密研磨装置『MA-150』
取扱企業精密研磨装置『MA-150』
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【取扱製品】 ■精密研磨システム ■常温硬化包埋樹脂 ■研磨盤 ■ポリシングクロス ■研磨剤 ■精密ブレードソー ■ダイヤモンドワイヤーソー ■精密手動スクライバー ■電子顕微鏡周辺機器
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