高砂熱学工業株式会社 半導体製造用クリーンルーム
- 最終更新日：2020-11-10 16:51:25.0
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高精度環境を省エネルギー・省コストと両立させ超短工期で構築します！
「半導体製造用クリーンルーム」は、超微細精密加工を高い歩留で
実現するために、温度・湿度・清浄度(ガス状汚染質除去)・気流・
微振動を高精度かつ安定的に制御することが必要です。
豊富な施工実績に基づき、設備システム・容量の最適化、製造ライン・
生産付帯設備に踏み込んだ提案、脱ガス配慮設計技術、垂直立上げを実現する
施工管理手法などを駆使し、超短工期で高品質なクリーンルームを構築。
また、旋回流誘引型成層空調システム「SWIT（スウィット）」を用いた
クリーンルーム「TCR-SWIT」では、少ない風量で作業域を従来と同じ
清浄度に維持できるため、クリーンルームの省エネルギー化も実現できます。
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基本情報半導体製造用クリーンルーム
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取扱企業半導体製造用クリーンルーム
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【事業概要】 ■一般空調・大広間空調 ■地域冷暖房 ■プロセス空調 ■電気・計装・通信技術 ■作業環境空調
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