プレシテック・ジャパン株式会社 非接触厚み測定 光学センサ「CHRocodile 2シリーズ」
- 最終更新日：2022-03-30 14:19:59.0
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『CHRocodile 2シリーズ』は、サブミクロン分解能でウエハ厚のインプロセス測定が可能な非接触センサーです。
抜き取りでの品質管理にも使われています。半導体業界の他、コンシューマー家電、ガラス製造、メディカル分野で採用されており、透明体厚み、コーティング厚み測定、複数層の同時測定（最大16層）に適しています。
【特長】
■幅広い厚み測定範囲 、様々な材質に対応
豊富なプローブラインナップで、厚みは薄膜（数um)～厚膜(780um)までカバー。
材質に合わせて二つの原理方式から選択可能。
■高分解能（サブミクロン 最小1nm）
「色収差共焦点方式」、「分光干渉方式」の原理による高分解能測定
■開発コスト低減、開発納期短縮に貢献できる、
装置組込み用のソフト開発キット（DLLなど)も用意
■多業界で豊富な実績
半導体業界、コンシューマー家電、ガラス製造、メディカル分野
※詳しくは資料をご覧ください。お問い合わせもお気軽にどうぞ。
基本情報非接触厚み測定 光学センサ「CHRocodile 2シリーズ」
【ラインアップ】
<CHRocodile 2 DPS（色収差共焦点方式）>
・光源：白色LED
・プローブにより100μm～38.5mmまで測定可能
・材料によらず全体の厚みを測定可能
<CHRocodile 2 IT（分光干渉原理方式）>
・光源：赤外SLD
・最大16層まで厚み測定可能
・研磨後のウエハに対応可能
<CHRocodile 2 DW（分光干渉原理方式）>
・光源：赤外SLD
・幅広い厚みレンジに対応
・ドープウエハに対応可能
※詳しくは資料をご覧ください。お問い合わせもお気軽にどうぞ。
| 価格帯 | お問い合わせください |
|---|---|
| 納期 | お問い合わせください |
| 用途／実績例 | 【用途・測定項目・メリットなどキーワード】 非接触センサ、光センサ、光学センサ、共焦点、分光干渉法、厚み、薄膜、厚膜、ギャップ、高さ、表面粗さ、平坦度、TTV、形状、外観、エッジ、斜面、計測、測定、検査、高速、3次元、高精度、インライン、モニタリング、In-Situ、加工中、加工前後、研磨、オフライン、スタンドアロン機、卓上機、抜き取り、組込み、半導体、ウエハ、ウエハ貼あわせ、Siウエハ、CMM、溶接部、ガラス、石英ガラス、珪酸ガラス（医療用アンプル）, ディスプレイ向けガラス、カーウインドシールド、PCB、医療用バルーン、バリアフィルム、PETフィルム、コート、フィルム、多層フィルム、塗布膜、コンフォーマルコーティング、電極層コーティング、ステントコーティング、ポリイミド、PVB、樹脂材、フラックス、接着剤、絶縁膜、空気層、ダイシング溝、フリップチップ、ワイヤボンダ、マイクロバンプ、透明、透明体、黒色、光沢、鏡面、簡単 |
カタログ非接触厚み測定 光学センサ「CHRocodile 2シリーズ」
取扱企業非接触厚み測定 光学センサ「CHRocodile 2シリーズ」
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■レーザ加工関連 - 加工ヘッド - 溶接ヘッド - プロセスモニター ■光学センサ <距離・形状、厚み測定> ・色収差共焦点 CHRocodileシリーズ - シングルポイント 2S/2SE：高精度 2HS：ハイパワー - デュアルポイント 2DPS - 廉価版シングルポイント C：プローブと一体 Mini：プローブと別体 - ラインセンサ CLS：低クロストークノイズ CLS2.0：長いライン長・広測定範囲 CLS2 PRO：長いライン長・角度許容度高 ・分光干渉CHRocodileシリーズ - シングルポイント 2IT：高精度 2DW：ドープウエハ対応 2RW：粗ウエハ対応 2SX：加工モニタリング用広測定範囲 ・分光干渉センサ用エリアスキャナ Flying Spot Scanner：Φ40～310mm ＊CHRocodileシリーズと組合わせ <厚み測定> レーザーフォトサーマルセンサ Enovasenseセンサ：不透明体の非接触測定
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