ピーアイ・ジャパン株式会社 A-63xシリーズ 高精度エアベアリング回転ステージ
- 最終更新日:2022-11-24 17:51:54.0
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薄型で、駆動面積と耐荷重の違いで4種類のサイズ違いがあり、エンコーダーも2種類対応の高精度エアベアリング回転ステージです。
エアベアリング回転ステージは、エア浮上ガイドのため一般的な
メカニカルガイドによる摩擦や部品精度の影響を受けません。
そのためスティックスリップ、摩擦熱がなく、高速駆動で、
高い平坦度&わずかな偏芯のため、非常に高精度位置決めが可能です。
●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをご覧ください。
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基本情報A-63xシリーズ 高精度エアベアリング回転ステージ
動作範囲:> 360°
駆動面の直径:150mm~350mm
偏芯:100~200nm
平坦度:50-75nm
Wobble:1μrad~2µrad
耐荷重:190~1200N
内蔵センサー:インクリメンタル・アブソリュート
最大速度:500rpm
価格帯 | お問い合わせください |
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納期 | お問い合わせください |
用途/実績例 | ・トモグラフィー ・ビームラインシステム ・高精度計測&検査 ・超精密計測装置 ・校正 ・XCTスキャニング |
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