ピーアイ・ジャパン株式会社 A-63xシリーズ 高精度エアベアリング回転ステージ

薄型で、駆動面積と耐荷重の違いで4種類のサイズ違いがあり、エンコーダーも2種類対応の高精度エアベアリング回転ステージです。

エアベアリング回転ステージは、エア浮上ガイドのため一般的な
メカニカルガイドによる摩擦や部品精度の影響を受けません。

そのためスティックスリップ、摩擦熱がなく、高速駆動で、
高い平坦度&わずかな偏芯のため、非常に高精度位置決めが可能です。

●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをご覧ください。

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基本情報A-63xシリーズ 高精度エアベアリング回転ステージ

動作範囲:> 360°
駆動面の直径:150mm~350mm
偏芯:100~200nm
平坦度:50-75nm
Wobble:1μrad~2µrad
耐荷重:190~1200N
内蔵センサー:インクリメンタル・アブソリュート
最大速度:500rpm

価格帯 お問い合わせください
納期 お問い合わせください
用途/実績例 ・トモグラフィー
・ビームラインシステム
・高精度計測&検査
・超精密計測装置
・校正
・XCTスキャニング

カタログA-63xシリーズ 高精度エアベアリング回転ステージ

取扱企業A-63xシリーズ 高精度エアベアリング回転ステージ

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ピーアイ・ジャパン株式会社 本社

リニアモータステージ・エアベアリングステージ・ ピエゾステージ・ボイスコイルステージ 計測システム器具及び装置の製造と販売

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