高真空蒸着装置『RD-1230』は、ぺロブスカイト太陽電池電極作成用
小型蒸着装置です。
抵抗加熱機構を2対装備しており、サイリスタ制御により蒸着電圧及び、
電流値の調整が可能です。
排気系はターボ分子ポンプによる排気で、排気操作は全自動。
水晶振動式膜厚計もオプションで付けることができ、卓上型タイプとしては
高性能な成膜制御が可能です。
【特長】
■ロブスカイト太陽電池電極作成用小型蒸着装置
■抵抗加熱機構を2対装備、サイリスタ制御により蒸着電圧及び、電流値の
調整が可能
■排気系はターボ分子ポンプによる排気で、排気操作は全自動
■水晶振動式膜厚計もオプションで付けることが可能
■卓上型タイプとしては高性能な成膜制御が可能
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
基本情報高真空蒸着装置『RD-1230』
【仕様】
■到達圧力：×10^-5Pa台 ※常温・無負荷・脱ガス時
■排気速度：大気圧から30分で2.0×10^-4Pa ※常温・無負荷・脱ガス時
■真空室径：φ230mm×240mmH 硬質ガラス
■蒸着機構：抵抗加熱方式
・AC電源2極（切替式）：金属用
・AC電源：12V0～45A/7V0～80A
■基板形状：□100mm以内ご希望形状
■真空排気系
・油回転ポンプ：50L/min［50Hz］
・ターボ分子ポンプ：67L/sec
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| 価格帯 | お問い合わせください |
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| 納期 | お問い合わせください |
| 用途／実績例 | ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。 |
カタログ高真空蒸着装置『RD-1230』
取扱企業高真空蒸着装置『RD-1230』
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〇研究開発用・製造用の各種真空装置の設計・製造及び関連部品の販売 〇半導体・金属・有機材料等の薄膜作製と、電子・光デバイス製造装置の設計・製造及び関連真空部品等の販売 〇各種真空装置・熱処理炉等のリサイクル品及び関連部品の販売 〇触針式表面形状測定サービス業務(段差膜厚測定) 〇各種真空装置等の故障修理及びオーバーホール等のサービス業務 〇真空・熱・光学・力学・分析用各種試験装置・測定器、電気電子通信機器・測定器及び電子部品の販売
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