加圧真空弁キッツエスシーティー

高純度ガス用ベローズバルブ「SBBシリーズ」に真空用KFフランジ接続タイプをラインアップ！

当製品は、真空用KFフランジ接続タイプのベローズバルブです。

高純度ガス用・真空用各種バルブをラインアップする当社の特長を
生かし、技術・ノウハウを融合させた加圧から真空までワイドレンジに
対応可能。

半導体製造などでのCVD等常圧プロセスの排気系ライン加圧検査用ガス導入ライン用にご使用いただけます。

【特長】
■真空用KFフランジ接続タイプ
■大型チャンバー用のリークバルブ排気系検査用バルブに好適
■加圧から真空までワイドレンジに対応可能

※KITZ SCT では半導体製造での流体関連のお悩みにさまざまな提案を行っております。詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

基本情報加圧真空弁

【仕様（抜粋）】
■ボディサイズ：10A
■フランジサイズ：NW16
■Cv値：2.1
■使用圧力範囲：VAC ～ 0.98MPa（G）
■使用流体温度範囲：－10～100℃
■環境温度範囲：－10～60℃

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

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用途／実績例	【用途】 ■CVD等常圧プロセスの排気系ライン加圧検査用ガス導入ライン用に ■OLED FPD等大型チャンバー用リークバルブチャンバーリーク時間短縮の用途に ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。