パーク・システムズ・ジャパン株式会社 原子間力顕微鏡(AFM)『Park NX-3DM』
- 最終更新日：2021-01-22 16:17:53.0
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NXテクノロジーを導入した完全自動化産業用AFM
『Park NX-3DM』は、オーバーハングプロファイル、高解像度側壁
イメージング、および臨界角測定用に設計された完全自動AFMシステムの
原子間力顕微鏡(AFM)です。
傾斜Zスキャナを備えた特許取得済みの分離型XYおよびZスキャン
システムにより、正確な側壁分析における通常およびフレアチップ法の
課題を克服します。
【ウエハファブ用で必須なツール】
■高度で正確なPark NX技術を用いた完全自動産業用AFM
■アンダーカットやオーバーハング構造のためのチルトヘッドデザイン
■サンプル前処理不要で正確な側壁粗さ計測
■完全非接触モード(TM)により、装置とサンプルにダメージを与えずに
高品質のイメージが得られる
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基本情報原子間力顕微鏡(AFM)『Park NX-3DM』
【システム仕様】
■電動XYステージ
・200mm：駆動 275mmx200mm、分解能 0.5μm
・300mm：駆動 375mmx300mm、分解能 0.5μm
■電動Zステージ
・Z駆動距離：30mm
・分解能：0.08μm、再現性 < 1μm
■電動フォーカスステージ
・Z駆動距離：11mm、直上光学系
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| 価格帯 | お問い合わせください |
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| 納期 | お問い合わせください |
| 用途／実績例 | ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。 |
カタログ原子間力顕微鏡(AFM)『Park NX-3DM』
取扱企業原子間力顕微鏡(AFM)『Park NX-3DM』
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【取扱製品】 ■研究用 ・小型サンプル対応AFM ・大型サンプル対応AFM ■生産ライン用 ・全自動AFM ■Bio and Chemical ・Bio AFM＆SICM
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