付着物除去・金属不純物低減!ご使用の用途に応じた洗浄をご提案
当社では、特殊ウェハの洗浄(再生)を行なっております。
ザグリ形状などの「治具ウェハ」とアルミナ、石英、SiC、AlNなどの
「特殊材料ウェハ」が対象となります。
ご使用の用途に応じた洗浄をご提案します。その他、各種ウェハの
洗浄についてもご相談ください。
【概要】
■対象
・治具ウェハ:ザグリ形状など(材質 Si)
・特殊材料ウェハ:アルミナ、石英、SiC、AlN他
■対応サイズ:12インチ
■洗浄内容
・付着物除去(メタル膜、有機物)
・金属不純物低減(5×E10~1×E12 atoms/cm2台)
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
基本情報特殊ウェハの洗浄(再生)
【洗浄フロー】
<前処理室>
■受入検査:入荷状態の確認(破損有無等)
■前洗浄
・自社開発 母材ダメージレスのケミカル処理
・メタル膜&有機物除去
<クリーンルーム>
■仕上洗浄:クリーン洗浄機使用(清浄化)
■最終検査
・目視検査:Particle 集光灯下≦10個
・金属不純物:同時処理モニターウェハのTXRF分析にて確認
■梱包
■出荷
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
価格帯 | お問い合わせください |
---|---|
納期 | お問い合わせください |
用途/実績例 | 【用途】 ■特殊ウェハの洗浄 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。 |
カタログ特殊ウェハの洗浄(再生)
取扱企業特殊ウェハの洗浄(再生)
特殊ウェハの洗浄(再生)へのお問い合わせ
お問い合わせ内容をご記入ください。