超音波モータHRシリーズ搭載、標準ステージ 単軸、多軸のモーションステージをご提供
Nanomotion社の標準ステージは、半導体、バイオメディカル、および計測機器市場での幅広いアプリケーション向けに、単軸および多軸モーション性能を提供します。
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基本情報超音波モータHRシリーズ搭載、標準ステージ
Nanomotion社の標準ステージは、HRモータ(Nanomotion製超音波モータ）で駆動され、光学式エンコーダを備えたクローズドループサーボモーションで構成されます。モジュラー設計による取り付けは、標準アングルブラケットを使用して簡単に取り付けすることができます。すべての軸には、精密な位置決めを可能とする高い剛性と光学式エンコーダを備えた精密クロスローラベアリングを使用しています。
標準ステージは下記の分類があります。
・FBリニアステージ
・FRロータリーステージ
・FGゴニオステージ
・FZくさび形ステージ
これらのステージは、標準的な大気圧モデル、ISOクラス3のクリーンルーム対応モデル、真空モデルを提供しています。
また、標準的ステージに適さないアプリケーションについてはカスタム対応致します。お気軽にご相談ください。
| 価格帯 | お問い合わせください |
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| 納期 | お問い合わせください |
| 用途／実績例 | 【用途】 ■半導体、バイオメディカル、および計測機器 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。 |
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