温度管理の高精度化！大型基板への対応が可能な噴流式ガラス基板温調システム
『クリスタルジェット』は、液晶パネル生産を支えるキーデバイスとして
広く世界中で採用されている噴流式ガラス基板温調システムです。
新たな空調システム“高効率顕熱空調機”を採用し、冷却のみでの
精密温度制御を実現。
レイアウトに合わせたカスタマイズが可能なほか、全面層流タイプや
小風量タイプなど、様々なオプションもご用意しています。
【特長】
■大型基板への対応
■温度管理の高精度化
■処理時間の短縮
■省エネ・省スペース化
■ガラス基板温度収束時間25秒
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
基本情報噴流式ガラス基板温調システム『クリスタルジェット』
【その他の特長】
■第11世代ガラス基板対応
■エリアのレイアウトに自在な対応
■全面層流（オプション）
■小風量での均一温調（オプション）
■ドレン排出無し
■コンパクト化を実現
■高いメンテナンス性
■湿度制御対応（オプション）
■高い省エネ効果
■空冷化対応（オプション）
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
| 価格帯 | お問い合わせください |
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| 用途／実績例 | ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。 |
カタログ噴流式ガラス基板温調システム『クリスタルジェット』
取扱企業噴流式ガラス基板温調システム『クリスタルジェット』
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(1)設備工事事業 下記の環境整備に関する諸設備の設計・施工および監理 ◎空気調和・換気設備 ◎給排水・衛生・消火設備 ◎工場配管・乾燥・除塵設備 ◎クリーンルーム設備 (2)機器製造販売事業 環境制御に関する装置の設計・製造ならびに販売
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