小型電子部品の高感度リーク試験！ウルトラファインリークまでご提案【特許技術】
『MUH-0100シリーズ』は、「カプセル蓄積法」を採用した超微小漏れ測定専用の気密検査装置です。
当社では、超微小漏れの測定技術として、高感度のヘリウムリーク検出技術「カプセル蓄積法」を開発。
角速度センサや赤外線イメージセンサなどのMEMS部品や小型電子部品は、長い年月にわたって製品内部の密封性を保持する必要があり、高い気密性が求められています。
【カプセル蓄積法 特長】
■4×10⁻¹⁵Pa・m³/s (He) まで計測可能
■バックグラウンドを大幅に低減
■超微小のヘリウムリークの検出が可能
■誤差要因となるヘリウム以外のガスの影響を低減
■ヒーターや極低温ポンプが不要になり、起動時間のメンテナンスが通常のヘリウムリークディテクタと同等
■ヘリウムの蓄積量の校正には、市販の標準リークが使用可能
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
基本情報小型電子部品専用気密検査装置｜MUH-0100 series
【カプセルサイズ】
■ φ16 × L10 mm（角10×10）
■ φ30 × L20 mm（角20×20）
■ φ44 × L31 mm（角30×30）
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
| 価格帯 | お問い合わせください |
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| 納期 | お問い合わせください |
| 用途／実績例 | 【検査対象例】 ■MEMS部品 （圧力センサ、加速度センサ、角速度センサ、赤外線イメージセンサ） ■電子部品 ■ハーメチックパッケージ ■水晶デバイス など ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。 |
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