キヤノンマーケティングジャパン株式会社光学式三次元表面プロファイラー『smartWLIシリーズ』

最終更新日：2021-10-11 09:31:58.0
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垂直走査低コヒーレンス干渉法により、高精度なオンマシン計測・インライン評価を実現！

『smartWLIシリーズ』は、GBS社が製品化した垂直走査低コヒーレンス
干渉法(CSI)を用いた三次元表面プロファイラー（白色干渉計、光学式三次元表面形状・粗さ計）です。

光学式三次元表面プロファイラーは、レンズ金型などの精密加工部品、自動車部品、電子部品、機能材料などの製造工程や品質検査において、表面の凹凸、傷、節目などの表面性状を非接触で測定を行えます。

三次元表面性状測定の国際規格ISO25178-6（国内規格JIS B0681-6）である垂直走査低コヒーレンス干渉法（CSI）は、観察視野（干渉対物レンズの倍率）に依存しない高い垂直（凹凸）感度が特長です。

『smartWLIシリーズ』には、製造現場でのインライン検査、大型の対象物を計測するオンマシン計測、エンジンシリンダーの内壁計測に求められる計測器があります。
また、解析ソフトとして業界標準のMountainsMap(R)を採用しております。

関連リンク - https://cweb.canon.jp/indtech/gbs/

基本情報光学式三次元表面プロファイラー『smartWLIシリーズ』

【GBS社の概要】
●イルメナウ工科大学(ドイツ)から1994年にスピンオフしたデータ処理技術研究所ZBSの事業会社として1997年に設立
●2008年、白色干渉の光学計測機器光学式3次元表面プロファイラーの製造開始
●世界で200台以上の自動機導入実績
●独国Daimler社への複数導入実績、ホーニング総合メーカーGehring社とも連携

【製品特長】
■GPU(NVIDIA等)の採用により高スループットを実現
■高精細カメラ(5M)とハイスピードカメラ(170Hz)を選択可能
■解析ソフトとして業界標準のMountainsMap(R)(Digital Surf社)を採用
■ピエゾスキャンモデルは垂直分解能0.1nm未満(nanoscanは0.03nm)
■走査長400μm・スキャン速度Max250μm/sのピエゾスキャンモデル(compact, extended)
■走査長5mmのモータースキャンモデル(extended range)
■サンプリング間隔(10nm)を実現した高解像度モデル(nanoscan)
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

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用途／実績例	【計測事例】 ■SiC研磨面 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

ラインナップ

型番	概要
smartWLI nanoscan	軽量コンパクト・高解像度モデル
smartWLI next	電動タレット付き汎用モデル
smartWLI extended	手動タレット付き汎用モデル
smartWLI extended range	軽量コンパクトモデル（モータスキャン）
smartWLI compact	軽量コンパクトモデル（ピエゾスキャン）