CCTECH Japan Prestige エッチング加工製品、半導体外観検査装置カタログ
- 最終更新日：2022-12-19 17:53:02.0
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半導体の各製造工程、成膜、レジスト塗布、リソグラフィー、エッチング、CMPなど、ウェア上の各ダイに均一な製造工程を行いたいもの。
しかし、現実には異物混入、パターン欠陥や膜厚などのばらつきにより、ウェハー上にムラが発生します。
その各工程に自動化した検査装置を入れることにより、各工程の半導体工程作業の微調整を可能にします。
また、半導体のウェハーのみならず、金属エッチング加工製品では、目視で欠陥やゆがみなどを検査しますが、それら加工製品の数量が増加すれば、目視検査での見落としや、人件費が膨大に膨れます。
その見落としと、人件費を削減するために、半導体、金属エッチング加工製品の検査工程にPrestigeを導入し、検査工程の見落としから費用の削減までを可能に。
【特長】
● 高解像度仕様7μm、高スループット仕様38μmの画素分解能で、幅広い検査に対応
● 照明にRGB 3色LEDを採用、パターンに応じた最適化照明
● カメラアングル可変式を採用、明視野～暗視野像の検査
● 欠陥検査とムラ検査が同時処理
● 6/8/12インチ対応
● オプション機能により、ウェハ裏面検査に対応
基本情報Prestige エッチング加工製品、半導体外観検査装置カタログ
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| 価格帯 | お問い合わせください |
|---|---|
| 納期 | お問い合わせください |
| 型番・ブランド名 | Prestige II |
| 用途／実績例 | 半導体の前工程でのキズ、ゴミなど、目視検査を行っていたものから検査機器を使用することで、検査工程の自動化。 ●半導体メーカー、前工程の露光、エッチング工程 ●半導体メーカー、前工程の最終検査工程 半導体だけではなく、金属メタルエッチング製品の欠陥にも使用することが可能です。 ●携帯電話のカメラ部分に使用されるVCM（Voice Coil Motor）スプリングの欠陥検査工程 ●半導体パッケージのリードフレーム 等 |
詳細情報Prestige エッチング加工製品、半導体外観検査装置カタログ
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高性能ウェーハマクロ外観欠陥検査装置
カタログPrestige エッチング加工製品、半導体外観検査装置カタログ
取扱企業Prestige エッチング加工製品、半導体外観検査装置カタログ
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CCTECH Japan CCTECH Japan（株）- 日本法人
事業内容は主に ★半導体ウェハー上で検査するために必要なプローバー、テスター、ハンドラー ★モジュール検査用のデジタル検査装置 ★Wafer上の各ダイがムラなく均一に製造されているか確認できる外観装置。 ★Wafer上の前工程で異物やパーティクルなどを確認する外観装置 などをご提供しております。 製品は、既存で準備している製品から、お客様の要望に基づき、検査装置をカスタム開発することも行っており、スタートアップかつ、若手Engineerが多く活躍する非常に柔軟な対応のできる企業になります。新規工場設立の際の検査装置の導入から、既存ラインで、人的外観検査を行っている部分へ外観検査装置を導入することで、検査の精度を上げつつ、経費を削減できることを可能にします。現在人的に検査をしている作業を自動化させるための製品を提供しております。
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