ワイエイシイメカトロニクス株式会社 IPAミスト直接置換乾燥装置『IMD IIID』

マランゴニ効果を利用!パワーデバイス製造の薄ウェハの乾燥をターゲットに開発

当社の従来製品「IMD III」を使用して薄ウェハの乾燥処理を
行った場合、ウェハとキャリアを分離した際、隣のウェハ同士が
接触する問題が生じ、乾燥不良の原因となっていました。

『IMD IIID』は、純水引き下げで乾燥処理開始後、ウェハ上部が
純水面から出た直後にウェハ上部を保持。

その後、ウェハとキャリアを分離することにより、ウェハ同士の
接触を防止して、キャリアレス乾燥と同等の乾燥能力を提供できます。

【特長】
■ウォーターマークレス乾燥
■純水引き下げ方式によるマランゴニ乾燥
■従来乾燥法では困難な薄ウェハの乾燥
■IPA消費量の削減(10~20cc/1バッチ)
■3”~8”ウェハの乾燥が可能

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

基本情報IPAミスト直接置換乾燥装置『IMD IIID』

【ラインアップ】
■150IMD IIID-ASC1DMHP
■150IMD IIID-AWC2DMHP

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価格帯 お問い合わせください
納期 お問い合わせください
用途/実績例 【用途】
■Siパワーデバイス製造の乾燥
■SiCパワーデバイス製造の乾燥
■LSIデバイス製造の乾燥
■Siウェハ製造の乾燥
■SiCウェハ製造の乾燥

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カタログIPAミスト直接置換乾燥装置『IMD IIID』

取扱企業IPAミスト直接置換乾燥装置『IMD IIID』

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ワイエイシイメカトロニクス株式会社 つくば事業所 PV事業部

【取扱製品】 ■協働ロボットシステム ■バニッシャー ■UVキュア ■ハードディスク搬送機・自動機 ■PV/LED/TP等、その他の搬送機自動機 ■空気清浄機 ■ICハンドラー 200シリーズ ■ICハンドラー 300シリーズ ■ICハンドラ ペルチェ方式 C912P ■ICハンドラー 900シリーズ ■ポゴピン挿入機 ■コンベア搬送・包装機 ■多彩なFA装置 ■太陽電池ウエハー工程用装置 ■太陽電池セル工程用装置 ■IPAベーパー乾燥機 ■純水加温装置 ■精密部品洗浄装置 ■研究開発用装置

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