スパッタリング装置FHR.Star100-Tetra-Co ティー・ケイ・エス

FHR Star.100-Tetra CoはMEMSや高機能光学製品向けに設計された非常にコンパクトなスパッタリング装置です。

このシステムには3つのスパッタリングソースとプレクリーニングエッチャーがすべて共焦点形状に配置されており、生産性を高めるためにロードロックならびに搬送チャンバを追加することも可能です。スパッタリングソースには直径100mmのシャッターが搭載されており、このシャッターを制御することで成膜コントロールすることが可能です。また、ソースと基板の距離も制御が可能です。これらの制御はプログラムによりオートコントロールされることで最適な成膜を実現しています。

主用途：MEMS製品や高機能光学製品製造

寸法 (L×W×H)： 2.3 m× 1.3 m × 2.1 m
重量(ロードロック付の場合) ：1,700 - 2,000 kg
最大基板サイズ：直径150 mm
最大基板キャリア：直径220 mm
対応プロセスガス: アルゴン、酸素、その他

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基本情報スパッタリング装置FHR.Star100-Tetra-Co

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型番・ブランド名	FHR Star100-Tetra-Co
用途／実績例	【主要アプリケーション】 ■反射防止膜 ■バンドパスフィルター ■エッジフィルター ■ノッチフィルター ■誘電体ミラー ■ダイクロミックミラー ■ビームスプリッター ■偏光フィルター ■ウエアラブルディスプレイ

取扱企業スパッタリング装置FHR.Star100-Tetra-Co

ティー・ケイ・エス株式会社

研究用・製造用真空プロセス機器の輸入販売、保守・延命化のコンサルティング ■半導体・電子デバイス・光学薄膜製造装置等の輸出入販売・保守 ■高密度プラズマソースの輸出入販売・保守 ■有機材料昇華精製装置の輸出入販売・保守 ■イオンビームエッチング・ミリング装置の輸出入販売・保守 ■イオンビームスパッタ装置の輸出入販売・保守