ピーアイ・ジャパン株式会社新製品！薄型エアベアリング Z Tip/Tilt ステージ

最終更新日：2022-11-24 17:52:17.0
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1枚の薄型プラットフォームで、3軸動作可能な高精度エアベアリングステージをリリース！

PI社は、エアベリング位置決め製品を拡充しています！

パラレルキネマティック方式設計による
「A-523型：エアベアリング　Z軸、チップ/チルトの3軸駆動ステージ」をリリースしました。

薄型設計で3軸の超高精度位置決めを実現
摩擦のないモーションプラットフォーム
最高の性能、品質、寿命を提供

【特徴】
・トラベルレンジ： Z軸±2.5 mm、θX, θY軸 ±1°
・耐荷重：8 kg
・プラットフォーム：直径 250 mm
・高さ：60 mm

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基本情報新製品！薄型エアベアリング Z Tip/Tilt ステージ

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型番・ブランド名	PI (Physik Instrumente)社・A-523
用途／実績例	ウェーハ検査ファイバー位置決め光学系位置決めフラットスクリーン検査マスクレスリソグラフィーマイクロLED製造などの高精度アプリケーション