超精密ステージピーエムティー | イプロスものづくり

半導体検査装置や半導体製造装置に最適な精密ステージ！ナノメートルオーダーの真直度・位置決め精度を実現可能です！

◆超精密位置決めに最適なステージ！

ステージは装置の精度を司る、謂わば心臓部です。

ピーエムティーでは、ウエハ検査装置や露光装置など、高い位置決め精度や繰り返し精度を必要とする装置にお使いいただける、超精密ステージの製作を行っています。

関連リンク - https://pm-t.com/products/precision-stage/

基本情報超精密ステージ

◆非接触＆超精密加工で高い真直度・位置決め／繰り返し精度を実現！

非接触のエアスライドを使用することでダストが発生することもなく、メンテナンスフリーでご使用いただけます。

また、超高精度に製作されたファインセラミックス製のガイドを使用し、精密恒温環境で組立・調整を行うことで、ナノメートルオーダーの位置決め／繰り返し精度と極めて高い運動精度を実現しています（※）。

（※）位置決め精度／繰り返し精度はステージの構成やご使用環境によります。ご希望の精度を実現するためのご提案を行いますので、まずはお気軽にご相談ください。

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用途／実績例	◆用途露光装置などの半導体製造装置半導体検査装置光学モジュールや半導体組立装置精密計測器 ◆製作実績-1　(添付画像参照) ステージ形式セラミックス製XYZ 3軸積み重ね駆動方式粗動：ボールねじ微動：PZT（ピエゾ）エンコーダ光学式リニアエンコーダストローク X,Y: 10mm　Z: 5mm 繰返し精度 X, Y, Z: ±0.01µm以下 ◆製作実績-2　(添付画像参照) ステージ形式セラミックス製XYZθ エアスライドステージエンコーダ X, Y: レーザ干渉計 Z, θ: 光学式リニアエンコーダストローク X, Y: 300mm　Z: 7mm 位置決め精度 X, Y: ±1.0µm/300mm 繰り返し精度 X, Y: ±0.1µm 真直度 X, Y: ±0.2µm以下/300mm 直交度 X, Y: ±0.5µm以下/300mm

カタログ超精密ステージ

取扱企業超精密ステージ

株式会社ピーエムティー本社・工場

■精密加工事業各種材料の調達および部品・金型の受託加工　―セラミックス加工　―メタル･低膨張合金加工 ■機械・装置事業各種機械・装置の設計・製造および販売　―NC微細加工機　―マスクレス露光装置　―ライフサイエンス向け自動化システム　―その他各種FA機器／OEM ■ロボティクス事業 AGV・AMR・SCARAなどを活用した生産現場の課題解決　―ソリューション提案　―シミュレーション作成など