精密な基盤にレジスト液を塗布する装置部品への表面処理の事例をご紹介します。
■ご相談
フィルム状の薄い基板にレジスト液を塗布する工程で、
吸着治具にレジスト液が精密な基盤にレジスト液を塗布する工程でのご相談でした。
■お悩み
フィルム状の薄い基板にレジスト液を塗布する工程で、
吸着治具にレジスト液が付着して、次に搬送される基板に治具のレジスト液がくっついてしまう問題が発生。
基板へのレジスト液の付着は製品不良になるため、
搬送治具の清掃頻度を増やさざるを得ず、生産性も上がりませんでした。
■ご要望
問題を解決するため当初はテフロンTMコーティングで試作しましたが、
コーティングのわずかな表面の凹凸が薄い基板に模様として転写し、
製品不良となってしまいました。
問題解決には精密性とレジスト液の付着防止を両立させる表面処理が
必要でした。
【解決課題】
・レジスト液の付着
・清掃時間
・コーティングの厚みムラ
■採用コーティング
『ナノプロセス(R) TC-10』
※詳しい解決の内容はPDFをダウンロードしてご覧頂くかお問い合わせください。
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基本情報【半導体業界解決事例】吸着治具レジスト液付着防止『ナノプロセス』
【ナノプロセスの特長】
■精密性
■変化のない可視光線透過率
■高い撥水性・撥油性
■耐熱性
■高い非粘着性
■低温加工性
■液体の滑落性に優れる
■高い寸法定性
■親水性
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価格帯 | お問い合わせください |
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納期 | お問い合わせください |
型番・ブランド名 | ナノプロセス(R) |
用途/実績例 | 詳しくはお問い合わせください。 |
カタログ【半導体業界解決事例】吸着治具レジスト液付着防止『ナノプロセス』
取扱企業【半導体業界解決事例】吸着治具レジスト液付着防止『ナノプロセス』
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■加工製品・取扱商品 ・テフロンコーティング ・フッ素樹脂コーティング ・バイコート ・シリコーンコーティング ・フッ素樹脂加工製品(PTFE、FEP、PFA) ・非粘着性、撥水性、離型性、低摩擦性、すべり性、耐摩耗性、 耐食性、耐薬品性、耐熱性、耐寒性、電気絶縁性などの機能性表面処理 ■事業所のご案内 〇名古屋事業所 名古屋市港区新茶屋三丁目1238番地 TEL:(052) 302-3030(代表) 〇東京事業所 東京都荒川区町屋五丁目4番6号 TEL:(03) 3895-0351(代表) 〇山口事業所 山口県美祢市大嶺町東分字池尻3058番45 TEL:(0837) 52-0811(代表) 〇横浜営業所 横浜市神奈川区神奈川本町3-1弘中ビル302号 TEL:(045) 451-0033(代表) 〇大阪営業所 大阪市城東区成育四丁目9番14号 TEL:(06) 6933-5123(代表) 〇広島営業所 広島県東広島市西条町下見4343番地10 TEL:(082)421-3335(代表)
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