R%D用マルチチャンバスパッタリング装置神港精機

R&Dやニッチプロセスへの対応に特化　量産用装置では困難な少量生産や試作・研究開発のための新型マルチチャンバスパッタリング装置

先端薄膜プロセス開発・少量生産専用の低コスト型マルチチャンバスパッタリング装置。
膜厚制御性に優れた高効率カソードと豊富なオプション機構により幅広い分野に対応
Ｓｉ半導体の電極・配線膜だけでなく、マイクロ磁気デバイスやＭＥＭＳ用の磁性体膜・絶縁膜・保護膜など各種プロセスに実績
蒸着・アニール・ＣＶＤなどの異種プロセス室も装備可能で実績のあるメインフレーム（搬送システム）に各プロセス室を自由に接続できるフルカスタム・オーダーメイド製作が特徴

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基本情報R%D用マルチチャンバスパッタリング装置

8インチまでの標準径ウェハと6インチ□までの矩形基板に対応したフレキシブル対応が特徴。小径ウェハや不定形基板には専用搬送トレイで基板搬送や成膜が可能。
メタル成膜においてはウェハプロセスの配線・電極膜・薄膜磁気デバイスのセンサー膜・保護膜などに加えMEMSセンサーの圧電膜などR&Dを含め量産までを細やかにサポートいたします。

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型番・ブランド名	STMシリーズ
用途／実績例	Ｓｉ半導体研究開発化合物半導体研究開発・量産半導体パッケージ工程（ＵＢＭ）量産高密度実装基板量産ＭＥＭＳデバイス試作・量産

カタログR%D用マルチチャンバスパッタリング装置

取扱企業R%D用マルチチャンバスパッタリング装置

神港精機株式会社東京支店

●装置事業部（成膜装置）・スパッタリング装置・真空蒸着装置・硬質膜形成装置・プラズマCVD装置（プラズマ装置）・エッチング装置・アッシング装置・クリーニング装置（熱処理装置）・真空リフロー装置・プラズマリフロー装置・真空熱処理装置・アニール装置 ●規格品事業部・ドライポンプ・油回転真空ポンプ・水封式真空ポンプ・メカニカルブースタ・真空排気装置・真空計、真空弁、真空部品・精密投影機・特殊光学機器